[发明专利]一种ALD镀膜设备

权利要求书

1.一种ALD镀膜设备，其特征在于，它包括进料装置、镀膜装置，控制台，所述进料装置包括升降液压缸、密封圆板，电机安装槽，电机，转轴，载料台，样品槽，弹簧，屏蔽罩，弹簧固定板，所述镀膜装置包括外腔体，内腔体，前躯体存储器，导管，匀气圆板，进气法兰，出气法兰，所述升降液压缸安装在外腔体底面，密封圆板固定在升降液压缸的活塞杆上，电机安装槽与密封圆板固定连接，电机固定在电机安装槽内部，电机转子通过联轴器与转轴相连，载料台固定在转轴上，所述前躯体存储器固定在外腔体侧面，进气法兰和出气法兰均安装在外腔体侧面，与外腔体和内腔体侧面的通孔相连。

2.根据权利要求1所述的一种ALD镀膜设备，其特征是：密封圆板下端面距内腔体上表面的距离等于升降液压缸活塞杆的工作行程。

3.根据权利要求1所述的一种ALD镀膜设备，其特征是：样品槽固定在载料台上面，样品槽内壁安装有圆形电阻丝。

4.根据权利要求1所述的一种ALD镀膜设备，其特征是：导管通过法兰与前躯体存储器相连。

5.根据权利要求1所述的一种ALD镀膜设备，其特征是：前躯体存储器上面安装有电磁阀。

6.根据权利要求1所述的一种ALD镀膜设备，其特征是：匀气圆板上均匀分布着圆孔，其直径等于样品槽内径。

7.根据权利要求1所述的一种ALD镀膜设备，其特征是：进气法兰的内径等于样品槽内径，进气法兰外接装有氮气的钢瓶。

8.根据权利要求1所述的一种ALD镀膜设备，其特征是：两个前躯体存储器正对放置，两个进气法兰正对放置，样品槽初始时刻正对着前躯体存储器，控制台控制电机定时且间歇性的每次转动90度。

9.根据权利要求1所述的一种ALD镀膜设备，其特征是：弹簧的一端固定在弹簧固定板上，另一端与屏蔽罩相连，环形电磁铁固定在导管外壁上。