[发明专利]有机电致发光装置和电子设备

说明书

有机电致发光装置和电子设备，质量可靠性优异。有机电致发光装置具有：有机电致发光元件；以及保护层，其保护所述有机电致发光元件，所述保护层具有第1绝缘膜、第2绝缘膜、第3绝缘膜、第4绝缘膜和第5绝缘膜，所述第1绝缘膜、所述第2绝缘膜、所述第3绝缘膜、所述第4绝缘膜和所述第5绝缘膜各自包含无机材料，所述第1绝缘膜的密度比所述第3绝缘膜和所述第5绝缘膜各自的密度低。

技术领域

本发明涉及有机电致发光装置和电子设备。

背景技术

已知具备有机EL元件的有机EL(电致发光)装置。有机EL装置例如被用作显示图像的有机EL显示器。

专利文献1所记载的有机EL装置具备有机EL元件和覆盖有机EL元件的保护膜。该保护膜具有防止水分侵入有机EL元件的功能。该保护膜是由3个膜构成的层叠膜。具体而言，层叠膜例如包含由氮化硅膜构成的第1绝缘膜、由氧化铝膜构成的第2绝缘膜、以及由氮化硅膜构成的第3绝缘膜。第1绝缘膜和第3绝缘膜分别通过CVD法(化学气相生长法)形成。第2绝缘膜通过ALD法(原子层沉积法)形成。此外，第2绝缘膜为了填埋形成于第1绝缘膜的针孔而形成。

专利文献1：日本特开2018-28996号公报

但是，由于专利文献1所记载的第3绝缘膜与第1绝缘膜为相同结构，因此例如，在有机EL元件的表面存在阶梯差时，由于该阶梯差的影响，不仅在第1绝缘膜中，在第3绝缘膜中也容易产生缺陷。因此，保护膜的密封性能受损，其结果，有机EL元件有可能劣化。因此，存在有机EL装置的质量可靠性下降的问题。

发明内容

本发明的有机电致发光装置的一个方式具有：有机电致发光元件；以及保护层，其保护所述有机电致发光元件，所述保护层具有第1绝缘膜、第2绝缘膜、第3绝缘膜、第4绝缘膜和第5绝缘膜，在远离所述有机电致发光元件的方向上，按照所述第1绝缘膜、所述第2绝缘膜、所述第3绝缘膜、所述第4绝缘膜和所述第5绝缘膜的顺序进行配置，所述第1绝缘膜、所述第2绝缘膜、所述第3绝缘膜、所述第4绝缘膜和所述第5绝缘膜各自包含无机材料，所述第1绝缘膜的密度比所述第3绝缘膜和所述第5绝缘膜各自的密度低。

本发明的电子设备的一个方式具有：所述有机电致发光装置；以及控制部，其对所述有机电致发光装置的动作进行控制。

本发明的有机电致发光装置的制造方法的一个方式包含以下工序：在基板上形成有机电致发光元件；通过使用了等离子体的化学气相沉积法，在所述有机电致发光元件上形成第1绝缘膜；通过使用了等离子体的原子层沉积法，在所述第1绝缘膜上形成第2绝缘膜；通过使用了等离子体的化学气相沉积法，在所述第2绝缘膜上形成第3绝缘膜；通过使用了等离子体的原子层沉积法，在所述第3绝缘膜上形成第4绝缘膜；以及通过使用了等离子体的化学气相沉积法，在所述第4绝缘膜上形成第5绝缘膜，所述第1绝缘膜的密度比所述第3绝缘膜和所述第5绝缘膜各自的密度低。

附图说明

图1是表示第1实施方式中的有机EL装置的平面图。

图2是图1所示的子像素的等效电路图。

图3是表示图1所示的A-A线剖面的图。

图4是用于说明图1所示的保护层的功能的剖视图。

图5是表示变更了图1所示的保护层所具有的第1绝缘膜的厚度的例子的图。

图6是表示透过了图1所示的保护层的光的光谱的图。

图7是表示透过了图1所示的保护层的光的光谱的图。

图8是第1实施方式中的有机EL装置的制造方法的流程。

图9是用于说明保护层形成工序的图。

图10是用于说明保护层形成工序的图。

图11是用于说明保护层形成工序的图。