[发明专利]一种靶材组件焊接前的处理方法有效

申请号：	202110002835.0	申请日：	2021-01-04
公开（公告）号：	CN112846560B	公开（公告）日：	2022-12-02
发明（设计）人：	姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;叶裕辉;俞冬波	申请（专利权）人：	宁波江丰电子材料股份有限公司
主分类号：	B23K31/02	分类号：	B23K31/02
代理公司：	北京远智汇知识产权代理有限公司 11659	代理人：	王岩
地址：	315400 浙江省宁波市***	国省代码：	浙江;33
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摘要：
搜索关键词：	一种组件焊接处理方法
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【权利要求书】：

1.一种靶材组件焊接前的处理方法，其特征在于，所述处理方法包括：靶材和背板分别依次进行一次浸润、二次浸润和三次浸润；

所述二次浸润与三次浸润的间隔时间为20～28h；在所述二次浸润与三次浸润的间隔时间内，二次浸润后的靶材和背板分别自然冷却至室温；以速率为130～240℃/h进行升温，在终温200～240℃下对二次浸润后的靶材和背板分别进行三次浸润5～15min，浸润液为铟焊料，添加量为0.64～0.96g/cm²；

所述靶材的材质为C-SiC。

2.根据权利要求1所述的处理方法，其特征在于，所述背板的材质包括铜合金。

3.根据权利要求1所述的处理方法，其特征在于，所述一次浸润的温度为200～240℃；所述一次浸润中浸润液包括铟焊料；所述一次浸润中浸润液的添加量为0.32～0.48g/cm²；所述一次浸润的时间为20～30min。

4.根据权利要求1所述的处理方法，其特征在于，所述一次浸润在超声波处理中进行；所述超声波的功率为300～500W。

5.根据权利要求1所述的处理方法，其特征在于，所述二次浸润中浸润液包括铟焊料；所述二次浸润中浸润液的添加量为0.64～0.96g/cm²。

6.根据权利要求1所述的处理方法，其特征在于，所述二次浸润的温度为200～240℃；所述二次浸润的时间为4～5h。

7.根据权利要求1所述的处理方法，其特征在于，所述三次浸润后靶材和背板中铟焊料的厚度分别为1～2mm。

8.根据权利要求1所述的处理方法，其特征在于，所述处理方法包括以下步骤：

(1)一次浸润：在功率为300～500W的超声波处理下对靶材和背板分别一次浸润20～30min，浸润液为铟焊料，添加量为0.32～0.48g/cm²，温度为200～240℃；

(2)二次浸润：对所述一次浸润后的靶材和背板分别在200～240℃下进行二次浸润4～5h，浸润液为铟焊料，添加量为0.64～0.96g/cm²；

(3)三次浸润：所述二次浸润与三次浸润的间隔时间为20～28h，在所述间隔时间内，二次浸润后的靶材和背板分别自然冷却至室温，以速率为130～240℃/h进行升温，在终温200～240℃下对二次浸润后的靶材和背板分别进行三次浸润5～15min，浸润液为铟焊料，添加量为0.64～0.96g/cm²；

其中，所述靶材的材质为C-SiC。