[发明专利]液位测量装置、窖炉和液位测量方法

权利要求书

1.一种液位测量装置，至少用于测量液晶基板制造中窖炉高温玻璃的液位，其特征在于，所述液位测量装置包括激光发射器(1)和接收面板(2)；

所述激光发射器(1)用于通过设置在窖炉(3)前壁上部的激光入口(301)向窖炉(3)中发射第一激光(101)；

所述接收面板(2)用于通过设置在窖炉(3)后壁的激光出口(302)接收自所述窖炉(3)的液体液面反射回的第二激光(102)；其中，

所述接收面板(2)在与所述第二激光(102)的接收轨迹线上设有长度测量刻度(201)。

2.根据权利要求1所述的液位测量装置，其特征在于，所述接收面板(2)为刻度尺。

3.根据权利要求2所述的液位测量装置，其特征在于，所述第一激光(101)和所述刻度尺与窖炉(3)中的液体液面的夹角均为θ。

4.根据权利要求3所述的液位测量装置，其特征在于，所述第一激光(101)与窖炉(3)中的液体液面的夹角θ为45°。

5.根据权利要求2所述的液位测量装置，其特征在于，所述刻度尺上设有原液设置位点(4)。

6.根据权利要求5所述的液位测量装置，其特征在于，所述刻度尺上设有液位安全范围标注区(5)，所述液位安全范围标注区(5)的标注边界之一为原液设置位点(4)，所述液位安全范围标注区(5)随原液设置位点(4)的设置而变更。

7.根据权利要求1至6所述的液位测量装置，其特征在于，所述激光发射器(1)和所述接收面板(2)之间设有用于保证第一激光(101)与所述接收面板(2)的长度测量刻度平行设置的联动装置。

8.一种窖炉，其特征在于，包括激光入口(101)、激光出口(102)和所述权利要求1至7任一项所述的液位测量装置；

所述激光发射器(1)通过设置在窖炉(3)前壁上部的激光入口(301)向窖炉(3)中发射第一激光(101)；

所述接收面板(2)通过设置在窖炉(3)后壁的激光出口(302)接收自所述窖炉(3)的液体液面反射回的第二激光(102)；其中，

所述接收面板(2)在与所述第二激光(102)的接收轨迹线上设有长度测量刻度(201)。

9.一种液位测量方法，至少用于测量液晶基板制造中窖炉高温玻璃的液位，其特征在于，适配上述权利要求1至7任一项所述的液位测量装置；

激光发射器通过预设在窖炉的前壁上端口处的激光入口向窖炉中的液体液面发射第一激光；

液体液面将第一激光与所述液体表面的夹角θ对激光进行反射形成第二激光；

第二激光通过设置在窖炉后壁的激光出口击打至设置在激光出口处的接收面板上；

接收面板在所述第二激光的接收轨迹线上设有长度测量刻度；

通过第二激光在长度测量刻度上的显示计算得出高温玻璃的液位的实际高度。

10.根据权利要求9所述的一种液位测量方法，其特征在于，所述接收面板为刻度尺，所述刻度尺上设有原液设置位点和液位安全范围标注区，所述液位安全范围标注区的标注边界之一为原液设置位点，所述液位安全范围标注区随原液设置位点的设置而变更。