[发明专利]光罩保护装置及光罩保护系统

说明书

本发明涉及半导体技术领域，提出了一种光罩保护装置及光罩保护系统。光罩保护装置包括框架和保护膜，框架用于设置在光罩的基板上，框架上设置有夹持空间；保护膜的边沿固定于夹持空间内。通过将保护膜的边沿固定于框架的夹持空间内，从而可以增加框架对保护膜的固定效果，以此防止保护膜脱离框架。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种光罩保护装置及光罩保护系统。

背景技术

光刻工艺是半导体制造中重要的工艺步骤，具体为一种将光罩上的图案层转移至基板上的工艺。通常需要在光罩上安装保护装置防止光罩被外界灰尘颗粒污染，光罩的保护装置通常包括框架和保护膜。

相关技术中的保护膜直接黏贴在框架的顶端，在风刀吹扫保护膜表面落上的灰尘颗粒时，由于保护膜和框架之间通过粘合剂粘贴在一起，粘合剂因老化等因素失效导致保护膜和框架之间存在缝隙，吹扫保护膜表面落上的灰尘颗粒时，从缝隙这点容易被撕开，导致保护膜破损，造成光罩保护系统破损，整块光罩保护系统报废。

发明内容

本发明提供一种光罩保护装置及光罩保护系统，以避免保护膜脱落。

根据本发明的第一个方面，提供了一种光罩保护装置，包括：

框架，框架用于设置在光罩的基板上，框架上设置有夹持空间；

保护膜，保护膜的边沿固定于夹持空间内。

在本发明的一个实施例中，光罩保护装置还包括：

第一粘结层，第一粘结层填充于夹持空间内。

在本发明的一个实施例中，夹持空间包括：

第一侧壁；

第二侧壁，保护膜的边沿位于第一侧壁与第二侧壁之间；

其中，第一侧壁和第二侧壁中的至少之一与保护膜之间形成间隙，第一粘结层填充于间隙内。

在本发明的一个实施例中，夹持空间为容纳槽，容纳槽的槽底位于框架内。

在本发明的一个实施例中，容纳槽沿第一方向延伸，第一方向垂直于基板；

或，容纳槽沿第二方向延伸，第二方向平行于基板。

在本发明的一个实施例中，框架为一体式结构。

在本发明的一个实施例中，容纳槽环绕框架的周向方向设置，以使保护膜的边沿均位于夹持空间内。

在本发明的一个实施例中，夹持空间为开口，开口贯穿框架。

在本发明的一个实施例中，开口沿第一方向延伸，第一方向垂直于基板；

或，开口沿第二方向延伸，第二方向平行于基板。

在本发明的一个实施例中，框架为分体式结构。

在本发明的一个实施例中，框架包括：

第一段体，第一段体用于设置在基板上；

第二段体，第二段体用于设置在基板上，第一段体与第二段体间隔设置，以形成夹持空间。

在本发明的一个实施例中，第一段体形成有第一矩形腔，第二段体形成有第二矩形腔，第二段体位于第一矩形腔内。

在本发明的一个实施例中，框架包括：

第一段体，第一段体用于设置在基板上，第一段体形成有容纳腔；

第二段体，第二段体位于容纳腔内，且与基板间隔设置，第一段体的至少部分与第二段体间隔设置，以形成夹持空间。