[发明专利]一种聚酰亚胺蒸镀薄膜的制备方法在审
申请号: | 202110013899.0 | 申请日: | 2021-01-06 |
公开(公告)号: | CN112877650A | 公开(公告)日: | 2021-06-01 |
发明(设计)人: | 闵永刚;刘屹东;张继升 | 申请(专利权)人: | 慧迈材料科技(广东)有限公司 |
主分类号: | C23C14/26 | 分类号: | C23C14/26;C23C14/12;C23C14/54;C23C14/58;C08J5/18;C08L79/08;C08G73/10 |
代理公司: | 广东高端专利代理事务所(特殊普通合伙) 44346 | 代理人: | 徐玲 |
地址: | 528000 广东省佛山市南海区狮*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 聚酰亚胺 薄膜 制备 方法 | ||
本发明公开一种聚酰亚胺蒸镀薄膜的制备方法,本发明的薄膜的制造方法,使用由双胺构成的升华性蒸镀材和由双酐构成的升华性蒸镀材,利用通过真空成膜法同时蒸镀的共蒸镀法,在基材上形成由双胺和双酐反应生成的聚酰胺酸构成的薄膜,退火后亚胺化生成聚酞亚胺,所得薄膜透明性及绝缘性优异。
技术领域
本发明涉及薄膜制备领域,具体涉及一种聚酰亚胺蒸镀薄膜的制备方法。
背景技术
目前,液晶显示器、有机EL显示器或太阳能电池等设备对薄膜的绝缘性透明度的要求越来越高,而国内聚酰亚胺薄膜存在着产品质量差、综合性能不稳定、产品精细化程度不够、品种少等缺点,影响了其应用,生产出的蒸镀薄膜具有电绝缘差、不耐热阻燃、不够透明、厚度不够薄的特点。
发明内容
针对上述现有技术,本发明要实现的技术是:制备一种电绝缘较好、耐热阻燃、透明超薄的聚酰亚胺蒸镀膜。
为了达到上述目的,本发明采用以下方案:
一种聚酰亚胺蒸镀薄膜的制备方法,
步骤一:使用由双胺构成的升华性蒸镀材和由双酐构成的升华性蒸镀材;
步骤二:通过真空成膜法同时蒸镀的共蒸镀法,在基材上形成由双胺和双酐反应生成的聚酰胺酸构成的薄膜;
步骤三:退火后亚胺化生成聚酰亚胺。
进一步地,本发明中的薄膜的厚度以埃为单位进行精确控制。
进一步地,本发明中的薄膜的双胺和双酐的摩尔比率以 1:1~1.01的方式组合。
进一步地,本发明中的升华性蒸镀材的双胺为均苯二胺、对苯二胺、联苯二胺中的至少一种,双酐为均苯二酐、对苯二酐、联苯二酐中的至少一种。
进一步地,本发明中的升华性蒸镀材的双胺和双酐颗粒的平均粒径为10um以下。
进一步地,本发明中的真空成膜法为电子束蒸镀法、离子镀法、反应性等离子体蒸镀法、电阻加热法或感应加热法中的任意一种。
进一步地,本发明中的聚酰胺酸构成的薄膜是在350℃下退火 5min后亚胺化生成聚酰亚胺。
综上所述,本发明相对于现有技术其有益效果是:
本发明是利用真空镀膜法同时蒸镀的共蒸镀法控制反应成膜,材料选择范围广泛,能够制作多种多样的不同组成的聚酰亚胺膜。并且,得到的薄膜的单层绝缘性优异,耐老化性,透明度高,因此可用较少的层叠数得到较高的绝缘性,提高生产效率,降低成本。并且膜厚变薄,能够减轻元件的重量和尺寸。
具体实施方式
下面结合具体实施方式对本发明作进一步描述:
分别准备平均粒径为8um、纯度为99.95%的高纯度均苯二胶粉末作为第1升华性蒸镀材,准备平均粒径为7um,纯度为99.8%的高纯度均苯二酐粉末作为第一升华性蒸镀材,使用上述两种蒸镀材,在厚度为1mm的石英片上,利用电阻加热法同时蒸镀的共蒸镀,控制膜中的含有率双胺、双酐为1:1.01的薄膜,并形成聚酰亚胺前驱体薄膜片,将前驱体薄膜在350℃下退火5min,亚胺化形成聚酰亚胺,成品后的聚酰亚胺薄膜可达到:
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