[发明专利]用于实现工件旋转的磁力耦合传动机构

说明书

本发明公开了一种用于实现工件旋转的磁力耦合传动机构，包括门板，安装于观察窗处以密封观察窗，门板具有外侧和内侧，内侧朝向反应室；驱动机构，包括外轮和内轮，外轮和内轮分别相对设置在门板的外侧和内侧，外轮和内轮上均设置有磁性部件，使得外轮和内轮之间磁力耦合，外轮通过驱动电机驱动，进而带动内轮转动；安装架，设置于反应室内，安装架具有用于装载多面体工件的工件轴；传动机构，连接在内轮与工件轴之间，内轮通过传动机构带动工件轴转动，进而带动多面体工件转动。通过外轮和内轮上的磁性部件的互相耦合作用，把门板外的动力传入至门板内，门板上不需要开孔，进而解决了轴密封的问题。

技术领域

本发明涉及工件表面镀膜加工技术领域，特别涉及一种用于实现工件在镀膜过程能表面旋转的磁力耦合传动机构。

背景技术

物理气相沉积PVD是广泛使用的在工件表面镀膜的工艺，现有设备只能镀静止的工件的表面，如果要镀一个多面体工件，需要工件在镀膜的过程中能够均匀的转动，以让每个面都能轮流朝向靶材。

但是，物理气相沉积PVD是在真空条件下进行的，如果简单的在反应室壁开孔并把室外安装固定的电动机的动力传入反应室内，以实现多面体工件的转动，其传动轴密封的问题比较难解决；由于反应室内高温环境，直接把电机安装在反应室内，电机不能承受高温。因此，现有的技术很难设计一种能够让多面体工件实现转动的装置。

发明内容

本发明的目的在于提供一种用于实现工件旋转的磁力耦合传动机构，能够在不开孔的前提下实现外部动力的传输，进而使得工件在镀膜时可以发生转动。

本发明所采用的技术方案是：一种用于实现工件旋转的磁力耦合传动机构，安装于反应室的观察窗处，包括：

门板，安装于观察窗处以密封所述观察窗，所述门板具有外侧和内侧，所述内侧朝向所述反应室；

驱动机构，包括外轮和内轮，所述外轮和内轮分别相对设置在所述门板的外侧和内侧，所述外轮和内轮上均设置有磁性部件，使得所述外轮和内轮之间磁力耦合，所述外轮通过驱动电机驱动，进而带动所述内轮转动；

安装架，设置于所述反应室内，所述安装架具有用于装载工件的工件轴；

传动机构，连接在所述内轮与工件轴之间，所述内轮通过所述传动机构带动所述工件轴转动，进而带动所述工件转动。

有益效果：通过外轮和内轮上的磁性部件的互相耦合作用，把门板外的动力传入至门板内，门板上不需要开孔，进而解决了轴密封的问题。同时驱动机构的动力源位于门板外部，有效避免了高温对动力源的损伤。

在其中一些实施例中，所述传动机构包括蜗轮蜗杆机构和链传动机构，所述蜗轮蜗杆机构包括蜗轮和蜗杆轴，所述链传动机构包括第一传动轮、第二传动轮以及连接在第一传动轮和第二传动轮之间的传动链，所述蜗杆轴一端与所述内轮同轴固定连接，所述蜗轮啮合在所述蜗杆轴的另一端，所述蜗轮与所述第一传动轮设置为同轴转动，所述第二传动轮与所述工件轴同轴固定连接。

在其中一些实施例中，所述第一传动轮的直径小于所述第二传动轮的直径。

在其中一些实施例中，所述链传动机构还包括用于张紧所述传动链的张紧装置。

在其中一些实施例中，所述门板由陶瓷或玻璃制成。

在其中一些实施例中，所述安装架还包括分别安装在所述工件轴两端的第一支架和第二支架，所述第一支架和所述第二支架的上端部设置有U形槽。

在其中一些实施例中，所述安装架通过内底板安装于所述门板上，所述内底板设置成L型。

在其中一些实施例中，所述驱动机构还包括驱动电机，所述驱动电机驱动所述外轮转动，所述驱动机构通过外底板安装于所述门板上，所述外底板设置成L型。

附图说明