[发明专利]一种真空阀门

权利要求书

1.一种真空阀门，用于控制两个腔室之间的开闭，其特征在于，包括：

具有空腔的壳体(1)，所述壳体(1)相对的两个侧面对应设置有开口(11)，两个所述开口(11)分别连接两个所述腔室之中的一个；

两块门板(2)，所述门板(2)设置于所述壳体(1)的空腔内，所述门板(2)与所述开口(11)一一对应，每个所述门板(2)用于打开或关闭相应的所述开口(11)，至少一块所述门板(2)上设置密封圈安装槽(23)，且所述密封圈安装槽(23)配置于所述门板(2)朝向所述开口(11)的侧面上；

弹性连接件(4)，所述弹性连接件(4)位于两块所述 门板(2)中间，并与两块所述门板(2)固定连接，所述弹性连接件(4)可以沿第二方向弹性伸缩；

传动件(3)，所述传动件(3)与所述弹性连接件(4)紧密贴合，所述传动件(3)可以支撑所述弹性连接件(4)，还可以沿第一方向或第一方向的反方向相对于所述弹性连接件(4)做相对运动，同时改变所述弹性连接件(4)沿所述第二方向的弹性伸缩量，从而控制所述门板(2)贴紧或远离所述开口(11)的边缘，所述第一方向垂直于所述第二方向；

驱动件(5)，所述驱动件(5)的输出轴(51)与所述传动件(3)固定连接，并相互配合以控制所述门板(2)打开或关闭相应的所述开口(11)，其中，所述驱动件(5)的输出轴(51)可以沿第一方向或第一方向的反方向移动，从而带动所述传动件(3)和所述门板(2)一同沿所述第一方向或第一方向的反方向运动；

所述传动件(3)的自由端开具若干个通孔(31)，若干个所述通孔(31)沿所述第一方向排列，所述通孔(31)内设置有驱动球(32)；

所述驱动件(5)驱动所述传动件(3)沿第一方向运动过程中，所述驱动球(32)滚动接触所述门板(2)；

所述门板(2)靠近所述弹性连接件(4)的一侧设置有若干个限位槽(21)，若干个所述限位槽(21)沿所述第一方向排列，所述限位槽(21)内设置有至少两个导向球(22)，所述导向球(22)的至少一部分突出于所述限位槽(21)的开口面，可与所述驱动球(32)形成双球面滚动接触。

2.根据权利要求1所述的真空阀门，其特征在于，所述弹性连接件(4)包括若干相互分离的弹性片，其中一部分所述弹性片构成第一弹性片组(41)，另一部分所述弹性片构成第二弹性片组(42)，所述第一弹性片组(41)用于连接其中一块所述门板(2)，所述第二弹性片组(42)用于连接另一块所述门板(2)；

所述第一弹性片组(41)和所述第二弹性片组(42)沿第二方向伸缩并分别夹持在所述传动件(3)相对的两侧；

所述驱动件(5)驱动所述传动件(3)沿第一方向并贴合于所述第一弹性片组(41)和所述第二弹性片组(42)运动，以改变所述第一弹性片组(41)和所述第二弹性片组(42)沿第二方向的伸缩量。

3.根据权利要求2所述的真空阀门，其特征在于，所述弹性连接件(4)包括三片依次相互分离的弹性片，其中第一片和第三片所述弹性片构成所述第一弹性片组(41)，第二片所述弹性片构成所述第二弹性片组(42)。

4.根据权利要求1或权利要求2所述的真空阀门，其特征在于，所述弹性连接件(4)还包括顶部的抵接面(43)，阀门关闭时，所述驱动件(5)驱动所述传动件(3)以带动所述门板(2)沿所述第一方向移动至相应所述开口(11)处，所述顶部抵接面(43)触及所述壳体(1)空腔的顶壁，以约束所述门板(2)于所述第一方向的位置。

5.根据权利要求1所述的真空阀门，其特征在于，所述传动件(3)靠近两个所述门板(2)的相对两侧设置有若干个凹槽(33)，若干个所述 凹槽(33)沿所述第一方向排列，所述凹槽(33)与所述通孔(31)、所述限位槽(21)一一对应设置，当所述驱动球(32)与所述导向球(22)双球面滚动接触时，所述凹槽(33)用以容纳所述导向球(22)突出于所述限位槽(21)开口面的部分。

6.根据权利要求5所述的真空阀门，其特征在于，若干个所述 通孔(31)、若干个所述限位槽(21)以及若干个所述 凹槽(33)均沿所述第一方向呈多列排布。