[发明专利]衍射光学元件和生成聚焦平顶光斑光束的系统

权利要求书

1.一种衍射光学元件，其特征在于，所述衍射光学元件用于在高斯光入射时，通过衍射和聚焦镜聚焦生成聚焦平顶光斑，所述衍射光学元件包括：

高斯光接收模块，用于接收高斯光入射；

相位调制模块，用于对所述高斯光进行sinc函数分束的二值化相位调制，所述相位调制模块的调制区域的调制相位为π，非调制区域的调制相位为0；

其中，所述调制区域包括边长为a和b的矩形，以及边长为b的正方形，a＝2w，b＝w，w为入射光斑大小；

相位调制模块中对应调制相位为π处的刻蚀深度为：

其中，λ为高斯光的波长，n为衍射光学元件的折射率。

2.一种生成聚焦平顶光斑光束的系统，其特征在于，包括：

激光光源，用于产生激光照射衍射光学元件，所述激光为高斯光；

所述衍射光学元件，用于对所述高斯光进行sinc函数分束的二值化相位调制；

聚焦镜，用于经过所述相位调制的激光进行聚焦；

其中，所述衍射光学元件的调制区域的调制相位为π，非调制区域的调制相位为0；所述调制区域包括边长为a和b的矩形，以及边长为b的正方形，a＝2w，b＝w，w为入射光斑大小；

衍射光学元件中相位调制模块中对应调制相位为π处的刻蚀深度为：

其中，λ为所述高斯光的波长，n为所述衍射光学元件的折射率。