[发明专利]磁悬浮隔振器

说明书

本发明公开一种磁悬浮隔振器，该磁悬浮隔振器设于磁悬浮隔振系统的定子和动子之间，该磁悬浮隔振器包括：电磁永磁模块和传感器。所述电磁永磁模块包括间隔设置的悬浮部和固定部，所述悬浮部通过永磁力和电磁力悬浮在所述固定部的磁场中；所述传感器用于根据所述动子相对所述定子的振动情况调节所述固定部和所述悬浮部之间的电磁力。由于本发明提出的磁悬浮隔振器的电磁永磁模块通过电磁力控制悬浮稳定并抑制振动，电磁力的大小可以根据振动情况调节，因此可以实现不同频率的、快速响应的振动控制；由于电磁永磁模块通过永磁力提供主要承载力，因此可以减小电磁力的损耗，从而能够降低磁悬浮隔振器的能耗。

技术领域

本发明涉及精密隔振技术领域，特别涉及一种磁悬浮隔振器。

背景技术

本部分提供的仅仅是与本公开相关的背景信息，其并不必然是现有技术。

随着高新技术产业的快速发展，对于精密位置控制的要求越来越高。在工业精密加工、检测，尤其在半导体行业超高精度检测及运动场景，对于外界的振动干扰尤其敏感。这类设备需要对地面振动及外界扰动进行抑制、隔绝，从而实现超高精度的运动控制。传统的机械式被动隔振器、空气弹簧等现有的隔振方式难以实现不同频率的、快速响应的振动控制。

发明内容

本发明的主要目的是提出一种磁悬浮隔振器，旨在实现不同频率、快速响应的振动控制的同时，降低磁悬浮隔振器的能耗。

为实现上述目的，本发明提出的磁悬浮隔振器包括：电磁永磁模块，所述电磁永磁模块包括间隔设置的悬浮部和固定部，所述悬浮部通过永磁力和电磁力悬浮在所述固定部的磁场中，所述固定部与所述定子固定连接，所述悬浮部与所述动子固定连接；以及，传感器，所述传感器用于根据所述动子相对所述定子的振动情况调节所述固定部和所述悬浮部之间的电磁力。

优选地，所述悬浮部包括第一永磁铁；所述固定部包括铁芯、线圈和第二永磁铁，所述第二永磁铁设于所述线圈的远离所述第一永磁铁的一侧；所述线圈绕制于所述铁芯的外周壁，所述第二永磁铁和所述线圈均位于所述第一永磁铁的磁场中。

优选地，所述悬浮部与所述固定部之间的永磁力被配置为与所述磁悬浮隔振器的载重相适配。

优选地，所述新型磁悬浮隔振器还包括电涡流阻尼模块，所述电涡流阻尼模块包括导体感应板和永磁阵列，所述导体感应板位于所述永磁阵列的磁场中，所述导体感应板和所述永磁阵列的其中之一固设于所述定子，所述导体感应板和所述永磁阵列的其中另一固设于所述动子。

优选地，所述永磁阵列为海尔贝克永磁阵列，所述海尔贝克永磁阵列包括多块尺寸参数相同，充磁强度相同，充磁方向不同的永磁铁。

优选地，所述磁悬浮隔振器为竖直方向上的单向隔振器；所述单向隔振器包括以竖直方向为对称轴呈对称分布的至少两个电涡流阻尼模块。

优选地，所述磁悬浮隔振器包括两个所述电涡流阻尼模块和一个所述电磁永磁模块，两个所述电涡流阻尼模块对称地分设于所述电磁永磁模块的左右两侧。

优选地，所述磁悬浮隔振器包括两个所述电涡流阻尼模块和两个所述电磁永磁模块，两个所述电涡流阻尼模块关于竖直方向的对称轴呈左右对称，两个所述电磁永磁模块设于两个所述电涡流阻尼模块之间，且两个所述电磁永磁模块关于竖直方向的对称轴呈左右对称。

优选地，所述磁悬浮隔振器为多向隔振器，所述多向隔振器包括X向隔振器、Y向隔振器和Z向隔振器，所述X向隔振器和所述Y向隔振器呈相同结构设置；所述Z向隔振器包括至少一个电磁永磁模块和至少两个关于所述电磁永磁模块呈对称设置的电涡流阻尼模块；所述X向隔振器包括至少一个电涡流阻尼模块和偶数个关于所述电涡流阻尼模块对称的电磁永磁模块。

优选地，所述X向隔振器包括一个所述电涡流阻尼模块和两个所述电磁永磁模块，两个所述电磁永磁模块关于竖直方向的对称轴呈左右对称，所述电涡流阻尼模块设于两个所述电磁永磁模块之间。