[发明专利]一种小流量气体体积流量测量装置

说明书

本发明提供了一种小流量气体体积流量测量装置，包括第一管路气阻、第二管路气阻、第三管路气阻、第四管路气阻、第五管路气阻和检测组，第一管路气阻两端分别连接气体入口和气体出口，第二管路气阻入口端连接在第一管路气阻入口端，第三管路气阻入口端连接第一管路气阻出口端，第四管路气阻入口端连接第二管路气阻出口端，第五管路气阻入口端连接第三管路气阻出口端，检测组用于检测管路气阻出口压力、工作环境的大气压力和温度。本装置可以测量微升/分钟及以下流量的气体体积流量；测量有腐蚀性气体的体积流量；高压力下测量微升/分钟及以下流量气体体积值。

技术领域

本发明涉及气体体积流量测量装置领域，具体涉及一种小流量气体体积流量测量装置。

背景技术

医药中间体的合成反应中,经常会用到给某物质分子添加氢键的合成反应,目前我们国内常用的加氢反应是采用反应釜的方式，该方式不但效率低下，而且有很大的人员和设备安全隐患，而采用基于微反应器的全自动加氢仪进行加氢反应，则不但消除了安全隐患，而且提高了效率，目前全自动加氢仪中微反应器的气体体积流量测量装置精度对反应结果存在较大影响，目前缺乏适配于全自动加氢仪中对小流量气体检测的装置；

此外，在催化剂评价系统中，为了能判断催化剂的效用，对物质反应前后的精确测量是评价的基础，在此情况下会有类似氧气、二氧化碳、氢气、氨气等各种气体参与评价催化剂，此时精确测量气体的使用量，对评价催化剂提高重要数据支撑。

已有的气体测量装置采用热式原理，如果在流量很小的情况下，热噪声会淹没有用信号，特别是当体积流量在微升/分钟级别时，无法实现测量；其次，也是基于原理的原因，测量元件需要和测量介质接触无法做表面保护，所以无法测量具有一定腐蚀性的气体。

现有专利CN206002156U公开了一种差压式电子流量计，属于流量计领域，包括主体、前盖板、气阻管、差压传感器和电气模块；主体设置有第一腔体和第二腔体；前盖板密封设置于第一腔体和第二腔体的端口处，并设置有进气口和出气口；主体设置有第一孔道和第二孔道；第一孔道和第二孔道的一端分别与第一腔体和第二腔体连通，第一孔道和第二孔道的另一端通过气阻管连接；差压传感器与电气模块连接，且差压传感器进气口和出气口分别与第一孔道和第二孔道连通。该差压式电子流量计通过设置于主体上的流通路径以及差压传感器和电气模块，不仅使得流体在流经第一腔体和第二腔体后，流速变的平稳，提高了流量测量的精确度，而且其还具有结构小巧、简单，成本低廉等优点。

但其存在气阻管路无法承受高压；差压传感器如果能满足动态范围的要求，则无法满足高精度分辨率的要求，即无法精确测量小流量；没有测量出口压力，因为气体受压力影响，其体积变化巨大，出口压力未知的情况下，无法精确测量真实流量；所测气体的问题没有进行测量，根据气体方程可知，气体受热后，体积变化巨大；基于以上几个特点，此专利中提到的流量计无法精确提供小体积气体流量数据。

现需一种小流量气体体积流量测量装置可以解决以上问题。

发明内容

本发明是为了解决现有技术中当压力比较高时，用单一的压力采集单元无法在保证动态范围的情况下满足测量精度的问题，提供了一种小流量气体体积流量测量装置，采用不同大小的管路气阻，把较高的压力值转换成可以用较低动态范围压力检测装置来测量实现了用小量程高分辨率压力传感器得出高压力下的高分辨率测量。

本发明提供了一种小流量气体体积流量测量装置，包括第一管路气阻、第二管路气阻、第三管路气阻、第四管路气阻、第五管路气阻和检测组，第一管路气阻入口端连接气体入口，第一管路气阻出口端连接气体出口，第二管路气阻入口端连接在第一管路气阻入口端，第二管路气阻出口端连接第四管路气阻入口端，第三管路气阻入口端连接第一管路气阻出口端，第三管路气阻出口端连接第五管路气阻入口端，检测组用于检测第二管路气阻出口压力、第三管路气阻出口压力、当前工作环境的大气压力和温度。