[发明专利]具备自测试功能的非制冷红外探测器及其制备方法

权利要求书

1.一种具备自测试功能的非制冷红外探测器，包括非制冷红外探测器本体，所述非制冷红外探测器本体包括读出电路(1)、与所述读出电路(1)电连接的红外敏感层(6)以及与所述红外敏感层(6)正对应的红外吸收结构，其特征是：所述红外吸收结构包括红外吸收纳米森林(7)。

2.根据权利要求1所述的具备自测试功能的非制冷红外探测器，其特征是：还包括红外敏感层(6)适配的红外敏感支撑体(9)，红外敏感层(6)位于红外敏感支撑体(9)内，且红外吸收纳米森林(7)支撑于红外敏感支撑体(9)上，红外敏感层(6)位于读出电路(1)的正上方，红外敏感层(6)通过红外敏感支撑体(9)内的敏感层连接体(3)与读出电路(1)电连接。

3.根据权利要求2所述的具备自测试功能的非制冷红外探测器，其特征是：在所述读出电路(1)上还设置红外辐射反射层(2)，所述红外辐射反射层(2)与红外敏感层(6)正对应，且红外辐射反射层(2)与红外敏感层(6)间具有能与外部连通的空腔(8)。

4.根据权利要求1或2或3所述的具备自测试的非制冷红外探测器，其特征是：还包括自测试结构(10)，对所述自测试结构(10)施加检测电压时，通过自测试结构(10)能对红外敏感层(6)加热，并通过读出电路(1)得到相应的电学响应率；

连续两次对自测试结构(10)施加不同的检测电压后，通过读出电路(1)得到所述两次电学响应率的差值，将响应率差值与预设的响应率阈值比较，以能根据比较结果判断所述非制冷红外探测器本体的工作状态。

5.根据权利要求3所述的具备自测试的非制冷红外探测器，其特征是：所述红外敏感层(6)与读出电路(1)的正面相互平行，且红外辐射反射层(2)与红外敏感层(6)相互平行。

6.一种具备自测试的非制冷红外探测器的制备方法，其特征是，所述制备方法包括如下步骤：

步骤1、提供读出电路(1)，并在所述读出电路(1)的正面制备得到导电连接层(11)以及红外辐射反射层(2)，所述导电连接层(11)与读出电路(1)电连接；

步骤2、在上述读出电路(1)的正面制备得到牺牲层(12)，并对所述牺牲层(12)进行图形化，以得到与导电连接层(11)正对应的导电定位孔(13)，通过导电定位孔(13)能将导电连接层(11)露出；

步骤3、制备得到所需的红外敏感支撑层(9)、红外敏感层(6)以及敏感层连接体(3)，其中，红外敏感支撑层(9)位于牺牲层(12)上，红外敏感层(6)位于红外敏感支撑层(9)内，红外敏感层(6)与红外辐射反射层(2)正对应，且红外敏感层(6)通过敏感层连接体(3)、导电连接层(11)能与读出电路(1)电连接；

步骤4、在红外敏感支撑层(9)上设置所需的牺牲层释放孔，并通过所述牺牲层释放孔对牺牲层(12)进行释放，以能将红外辐射反射层(2)上的牺牲层(12)去除，得到位于红外敏感层(6)正下方的空腔(8)；

步骤5、在上述红外敏感支撑层(9)上设置红外吸收聚合物材料层，对所述红外吸收聚合物材料层进行所需的图形化，以得到红外吸收聚合物层(5)；

步骤6、利用上述的红外吸收聚合物层(5)，制备得到红外吸收纳米森林(7)，所述红外吸收纳米森林(7)与红外敏感层(6)正对应。

7.根据权利要求6所述具备自测试的非制冷红外探测器的制备方法，其特征是，还包括自测试结构(10)，对所述自测试结构(10)施加检测电压时，通过自测试结构(10)能对红外敏感层(6)加热，并通过读出电路(1)得到相应的电学响应率；

连续两次对自测试结构(10)施加不同的检测电压后，通过读出电路(1)得到所述两次电学响应率的差值，将响应率差值与预设的响应率阈值比较，以能根据比较结果判断所述非制冷红外探测器本体的工作状态。