[发明专利]用于泄漏检测的成像系统

权利要求书

1.一种成像系统，包括：

点光源，其配置成发射光信号；

准直透镜，其定位成接收所述光信号，所述准直透镜配置成发射经准直的光信号；

4F成像望远镜，其定位成接收所述经准直的光信号；

空间滤波器，其定位于所述4F成像望远镜的傅里叶平面处，所述空间滤波器配置成使经滤波的光信号通过；

图像传感器，其定位于所述4F成像望远镜的输出侧处，使得所述图像传感器定位成接收所述经滤波的光信号；

受测试装置，其定位于在所述准直透镜与所述4F成像望远镜之间的物体平面处；以及

经增压气体源，其配置成使所述受测试装置的内部容积增压，所述成像系统配置成检测所述经增压气体从所述受测试装置的泄漏，由此，所述成像系统配置成为所述受测试装置提供光学泄漏检测。

2.根据权利要求1所述的成像系统，其中，所述气体具有与环境空气不同的折射率。

3.根据权利要求1所述的成像系统，其中，所述受测试装置配置为气密性地密封的装置。

4.根据权利要求1所述的成像系统，其中，所述光信号为非相干光信号。

5.根据权利要求4所述的成像系统，其中，所述非相干光信号由发光二极管发射。

6.根据权利要求1所述的成像系统，其中，所述光信号为相干光信号。

7.根据权利要求6所述的成像系统，其中，所述相干光信号由激光器发射。

8.根据权利要求1所述的成像系统，其中，所述图像传感器是能够操作地连接到控制器的成像装置，所述控制器利用处理指令来编程为通过评估检测的图像中的对比度变化的存在或不存在而评价所述检测的图像以确定泄漏的存在。

9.一种用于评价装置中的泄漏的方法，所述方法包括：

发射光信号；

修改所述光信号，以创建经准直的光信号；

对所述光信号进行滤波，以创建经滤波的光信号；

感测所述经滤波的光信号，以创建感测的图像；

将受测试装置沿着所述经准直的光信号放置于物体平面中，使得所述受测试装置的图像在所述感测的图像中出现；

将经增压气体指引到所述受测试装置的内部容积中；

评价所述感测的图像中的对比度；以及

基于评价对比度的所述步骤，确定所述经增压气体是否从所述受测试装置的所述内部容积泄漏。

10.根据权利要求9所述的方法，其中，所述经增压气体具有与空气不同的折射率。

11.根据权利要求10所述的方法，还包括基于所述感测的图像中的对比度而确定所述受测试装置中的所述泄漏的量级和特性。

12.根据权利要求9所述的方法，其中，所述受测试装置配置成气密性地密封的装置。

13.根据权利要求9所述的方法，其中，发射所述光信号的所述步骤包括发射非相干光信号。

14.根据权利要求9所述的方法，其中，发射所述光信号的所述步骤包括发射相干光信号。

15.根据权利要求9所述的方法，其中，感测所述经滤波的光信号以创建所述感测的图像的所述步骤包括利用图像传感器来拍摄所述感测的图像。

16.根据权利要求15所述的方法，其中，评价所述感测的图像中的对比度的所述步骤由能够操作地连接到所述图像传感器的控制器实行。