[发明专利]一种半导体硅片用电阻检测分类装置

权利要求书

1.一种半导体硅片用电阻检测分类装置，包括底箱(1)、除尘机构、夹紧机构，其特征在于：所述底箱(1)的正面两端设有防护门(3)，所述防护门(3)的表面右侧安装门扣(4)，所述底箱(1)的顶部安装壳体(2)，所述除尘机构包括检测机构、灰尘收纳箱(702)、排尘口(703)、抽气泵(705)、吸尘头(706)、吸尘管(707)，所述检测机构包括气缸(7)、安装板(701)、安装壳(704)、传感器(708)、检测探头(709)，所述夹紧机构包括电机(8)、第一螺纹杆(801)、第一轴承(802)、第一滑块(803)、第一电动伸缩杆(804)、安装块(805)、第二电动伸缩杆(806)、放置壳(807)、马达(808)、第二滑块(809)、第二螺纹杆(810)、第二轴承(811)、固定夹爪(812)、移动夹爪(813)、防护棉(814)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体硅片用电阻检测分类装置，其特征在于：所述底箱(1)的顶部中心安装检测台(5)，所述检测台(5)的顶部两端固定安装固定块(6)，所述底箱(1)的内部两端分别设有合格存放箱(9)与不合格存放箱(11)，所述合格存放箱(9)的右侧安装第一出料口(10)，所述不合格存放箱(11)的左侧安装第二出料口(12)。

3.根据权利要求1所述的一种半导体硅片用电阻检测分类装置，其特征在于：所述壳体(2)内的底部部两端固定电机(8)，所述电机(8)的输出端活动连接第一螺纹杆(801)，所述第一螺纹杆(801)的另一端活动连接第一轴承(802)，所述第一螺纹杆(801)的表面螺纹连接第一滑块(803)。

4.根据权利要求1所述的一种半导体硅片用电阻检测分类装置，其特征在于：所述第一滑块(803)的右侧固定第一电动伸缩杆(804)，所述第一电动伸缩杆(804)的另一端固定安装块(805)，所述安装块(805)的顶部固定第二电动伸缩杆(806)，所述第二电动伸缩杆(806)连通安装块(805)的另一端固定放置壳(807)。

5.根据权利要求1所述的一种半导体硅片用电阻检测分类装置，其特征在于：所述放置壳(807)的右侧安装马达(808)，所述马达(808)的输出端活动连接第二螺纹杆(810)，所述第二螺纹杆(810)的另一端活动连接第二轴承(811)，所述第二螺纹杆(810)的表面螺纹连接第二滑块(809)，所述第二滑块(809)的底部通过连杆固定移动夹爪(813)，所述放置壳(807)的底部右端安装固定夹爪(812)，所述移动夹爪(813)与固定夹爪(812)的内侧安装防护棉(814)。

6.根据权利要求1所述的一种半导体硅片用电阻检测分类装置，其特征在于：所述壳体(2)的内部上方固定气缸(7)，所述气缸(7)的输出端固定安装板(701)。

7.根据权利要求1所述的一种半导体硅片用电阻检测分类装置，其特征在于：所述安装板(701)的底部固定安装壳(704)，所述安装壳(704)的内部安装抽气泵(705)，所述抽气泵(705)的底部通过管道安装吸尘头(706)，所述抽气泵(705)的右侧连接吸尘管(707)，所述安装壳(704)的底部两端固定检测探头(709)，所述安装壳(704)的左侧安装传感器(708)。

8.根据权利要求1所述的一种半导体硅片用电阻检测分类装置，其特征在于：所述吸尘管(707)的另一端连接灰尘收纳箱(702)，所述灰尘收纳箱(702)的左侧安装排尘口(703)。