[发明专利]一种水平度调节密封装置及炉盖

说明书

本发明公开一种水平度调节密封装置及炉盖，包括支撑臂、球形轴、阀板等结构，球形轴的两端分别连接支撑臂和阀板，球形轴的一端固定连接，另一端活动连接，若球形轴的固定端固定连接于支撑臂，则活动端活动连接于阀板；球形轴的固定端固定连接于阀板，则活动端活动连接于支撑臂；球形轴的活动端与阀板或支撑臂保持球接，阀板或支撑臂可相对于球形轴周向转动或上下摆动，从而实现调节水平度的效果；当阀板在支撑臂的带动下与炉盖封闭时，阀板与炉盖的开口部分接触，球形轴对阀板施加压力，在此压力的作用下阀板自动与炉盖开口端面周向接触，自动调节阀板的水平度，使阀板与炉盖保持周向密封，确保其密封效果。

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，更进一步涉及一种水平度调节密封装置。此外，本发明还涉及一种炉盖。

背景技术

副炉室为细长的筒状结构，底端连接主腔室，主腔室内有液体状态的多晶硅，在副炉室的顶端设置晶体提升机构，晶体提升机构可以带动籽晶从副炉室中向下移到主腔室内，多晶硅液体在籽晶的引导下生成固体单晶硅，一段时间后，将固定单晶硅生长成的单晶硅棒达到一定长度后，通过晶体提升机构将单晶硅棒向上拉起，移到副炉室内；当单晶硅棒被向上拉起后，副室与下方的主腔室分离，此时需要将主腔室上部的炉盖通过阀板封闭，杜绝空气的影响。

现有的阀板结构与悬臂固定连接，关闭阀板时如果加工精度有误差，就无法保证阀板的表面水平，难以保证与炉盖的密封性，空气进入容易会产生氧化等不良因素。

对于本领域的技术人员来说，如何确保主腔室炉盖的密封效果，是目前需要解决的技术问题。

发明内容

本发明提供一种水平度调节密封装置，阀板能够相对于球形轴调节水平度，从而保证四周与炉盖保持均匀一致的密封效果，具体方案如下：

一种水平度调节密封装置，包括支撑臂、球形轴和阀板，所述球形轴的两端分别连接所述支撑臂和所述阀板；

所述球形轴的固定端固定连接于所述支撑臂或所述阀板，所述球形轴的活动端活动连接于所述阀板或所述支撑臂；

所述球形轴的活动端与所述阀板或所述支撑臂保持球接调节水平度。

可选地，所述球形轴固定连接于所述支撑臂，所述球形轴活动连接于所述阀板的中心；

所述支撑臂上拧装至少三根调节螺栓，所述调节螺栓以所述球形轴为中心周向分布，所述调节螺栓的端部能够与所述阀板的表面接触定位。

可选地，所述球形轴的活动端外表面为球面或椭球面。

可选地，所述阀板的表面设置与所述球形轴的活动端接触的接触槽，所述接触槽为锥形面或球面。

可选地，所述球形轴的活动端直径大于固定端的直径，所述球形轴的活动端形成膨胀结构；

所述阀板上固定安装压盖，所述压盖与所述阀板配合，将所述球形轴的活动端包围限位。

可选地，所述球形轴的固定端为阶梯轴，匹配插接在所述阀板的阶梯槽上，所述球形轴通过连接螺栓固定在所述支撑臂上。

本发明还提供一种炉盖，包括上述任一项所述的水平度调节密封装置。

本发明提供一种水平度调节密封装置，包括支撑臂、球形轴、阀板等结构，球形轴的两端分别连接支撑臂和阀板，球形轴的一端固定连接，另一端活动连接，若球形轴的固定端固定连接于支撑臂，则活动端活动连接于阀板；球形轴的固定端固定连接于阀板，则活动端活动连接于支撑臂；球形轴的活动端与阀板或支撑臂保持球接，阀板或支撑臂可相对于球形轴周向转动或上下摆动，从而实现调节水平度的效果；当阀板在支撑臂的带动下与炉盖封闭时，球形轴对阀板施加压力，在此压力的作用下阀板自动与炉盖端面周向接触，自动调节阀板的水平度，使阀板与炉盖保持周向密封，确保其密封效果。

附图说明