[发明专利]一种锆管靶及生产方法

权利要求书

1.一种锆管靶，包括锆管主体(1)，其特征在于，所述锆管主体(1)为空腔的圆柱形结构，所述锆管主体(1)两端分别开设有一对环形结构的承口槽(2)，一对所述承口槽(2)端部对称开设有环形凹槽结构的限位环(3)。

2.根据权利要求1所述的一种锆管靶，其特征在于，所述锆管主体(1)的两端内环分别开设有与水平倾斜角为25°的环形坡口(4)。

3.根据权利要求1所述的一种锆管靶，其特征在于，所述锆管主体(1)的最薄壁面厚度不小于0.3mm。

4.一种锆管靶的生产方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤S1、熔炼锻造，步骤S2、退火车制，步骤S3、穿孔热连轧、定径，步骤S4、下料矫直，步骤S5、内外表面处理，步骤S6、冷轧，步骤S7、热处理，步骤S8、珩磨，步骤S9、机加，步骤S10、抛光处理；

步骤S1：采用HZr-1符合国标的优质海绵锆压制电极，在3吨以上专门熔炼锆材的电弧炉中进行了2-3次熔炼，熔炼的铸锭在压力机上进行锻造，对铸锭进行三墩三拔，开坯温度：900℃-1100℃，二火精锻温度：700-900℃，精锻成φ205精锻棒；

步骤S2：对精锻棒进行退火处理，中断并扒皮，车掉外圆的氧化层，并在一头车制穿引孔；

步骤S3：穿孔热连轧、定径，对180轧钢机组进行改造，增加电炉加热系统，穿孔导板弧度进行设计修整，顶头采用高强度的铬钼合金钢顶头，对热轧机组进行改造，使其易于咬入管坯，并在定径机组前增加感应补热系统，采用多套不同直径的定径辊热定径；

步骤S4：对热轧定径后的管子进行切割下料并进行矫直处理；

步骤S5：对热轧定径矫直后的管内孔打磨处理，外径扒皮机上扒皮，去除掉氧化层及表面缺陷；

步骤S6：对处理好的管坯，按尺寸要求进行多道次冷轧；

步骤S7：在真空热处理炉中进行再结晶真空热处理，热处理制度：加热温度：600-800℃，保温1-3小时，真空度：10-3Pa，炉冷到100℃出炉；

步骤S8：对热处理后的锆管按图纸要求对内圆在珩磨机上珩磨内孔，珩磨磨条采用中等硬度的磨条，磨削量0.2-0.7mm左右，粗糙度1.6微米；

步骤S9：珩磨好内孔的锆管，按图纸要求车制外径及两端支口，对于较长的管子设计了中间支撑装置；

步骤S10：机加好的管子进行抛光处理，设计了抛光夹持系统，采用不同粒度的砂带及尼龙抛光布进行多道次的抛光处理，使其表面粗糙度1.6微米，最高可达0.5微米。

5.根据权利要求4所述的一种锆管靶的生产方法，其特征在于，所述步骤S1中开坯温度优选设定在1000℃-1050℃，二火精锻温度优选设定在800-850℃。

6.根据权利要求4所述的一种锆管靶的生产方法，其特征在于，所述步骤S6中冷轧的变形率≥40％。

7.根据权利要求4所述的一种锆管靶的生产方法，其特征在于，所述步骤S7中在进行热处理前，首先对轧制好的锆管除油酸洗后。

8.根据权利要求4所述的一种锆管靶的生产方法，其特征在于，所述步骤S7中加热温度优选设定在650-750℃，保温1.5-2.5小时。

9.根据权利要求4所述的一种锆管靶的生产方法，其特征在于，所述步骤S8中珩磨磨条采用中等硬度的磨条，磨削量0.3-0.6mm左右。

10.根据权利要求4所述的一种锆管靶的生产方法，其特征在于，所述步骤S10中机加好的管子进行抛光处理，采用不同粒度的砂带及尼龙抛光布进行至少3次的抛光处理。