[发明专利]一种基于数字全息术的钙钛矿薄膜形貌结构的检测方法

权利要求书

1.一种基于数字全息术的钙钛矿薄膜形貌结构的检测方法，其特征在于，具体包括以下步骤：

（1）激光器（1）发出的光，经第一准直系统扩束准直后由分光棱镜（5）将平行光分为两束光，一束为物光，一束为参考光，物光经反射镜Ⅰ（6）反射到钙钛矿薄膜（11）上，钙钛矿薄膜涂布在玻璃基体上，放置在可加热式载体（10）中，物光经过钙钛矿薄膜反射或透射后，经第三准直系统准直后，穿过显微物镜Ⅱ（14）进入到合束棱镜（15）上；

（2）参考光经反射镜Ⅱ（18）反射后，经第二准直系统准直后，穿过与显微物镜Ⅱ（14）放大倍数完全相同的显微物镜Ⅰ（9）进入到合束棱镜（15）上；

（3）计算机（17）与CCD相机（16）的输出端口连接，通过调节合束棱镜（15），使物光波与参考光波以一定的夹角到达 CCD 相机（16）靶面进行离轴干涉并形成全息图；由计算机保存并处理全息图；通过改变物光透过被测物的位置，进行多次测量；将采集到的相位信息显示在电脑上；通过对室温与加热状态下所采集到的相位信息进行处理分析，得到钙钛矿薄膜的形貌结构情况与稳定性。

2.根据权利要求1所述基于数字全息术的钙钛矿薄膜形貌结构的检测方法，其特征在于：包含两种类型的光路，透射型数字全息光路与反射型数字全息光路。

3.根据权利要求1所述基于数字全息术的钙钛矿薄膜形貌结构的检测方法，其特征在于：第一准直系统包括物镜（2）、小孔Ⅰ（3）、准直透镜Ⅰ（4）；第二准直系统包括小孔Ⅱ（7）、准直透镜Ⅱ（8）；第三准直系统包括小孔Ⅲ（12）、准直透镜Ⅲ（13）。

4.根据权利要求1所述基于数字全息术的钙钛矿薄膜形貌结构的检测方法，其特征在于：可加热式载体（10）为框状结构，包围在钙钛矿薄膜（11）周围，可对其进行定温加热。

5.根据权利要求4所述基于数字全息术的钙钛矿薄膜形貌结构的检测方法，其特征在于：可加热式载体（10）分别与温控装置（21）和液晶显示屏（22）连接。

6.根据权利要求1所述基于数字全息术的钙钛矿薄膜形貌结构的检测方法，其特征在于：步骤（3）中相位信息进行处理分析的具体过程为：在CCD相机记录到物体变化全息图后，利用二次曝光的方法，将相位相减，对物体变化前后的全息图分别进行数值重建，得到相应物光波的复振幅分布；利用MATLAB 程序分别对全息图的预处理、全息像的数值重建、重建物光波强度和相位分布的提取进行处理；根据处理结果得到被测物体的形貌信息及改变温度后的变化情况。