[发明专利]一种多层平面电磁线圈驱动的MEMS变形镜

权利要求书

1.一种多层平面电磁线圈驱动的MEMS变形镜，包括多层电磁线圈、硅底座、反射镜、介质层、永久磁性材料层和封装外壳，其特征在于，所述多层电磁线圈，通过给多层电磁线圈通入电压使线圈产生的磁场逐渐加强，对变形镜进行操作，去掉电压后使变形镜回到最初位置；所述硅底座上形成的多层线圈，每个线圈都具有中心点和垫点；通过将电压通入多层电磁线圈中，使多层电磁线圈产生相应的电磁场，带动上方永久磁性材料层，永久磁性材料层带动硅层进行运动，从而达到以电磁力驱动MEMS变形镜的目的。

2.根据权利要求1所述的一种多层平面电磁线圈驱动的MEMS变形镜，其特征在于，所述多层线圈的各层之间通过垫点或中心点进行接触,使得从硅底座起由下而上依次排序,所述多层线圈的奇数层与偶数层之间通过中心点接触,偶数层与奇数层之间通过垫点接触；在第一层线圈的垫点上以及最后一层线圈的垫点或者中心点上形成有与外部互联的两个焊点。

3.根据权利要求1所述的一种多层平面电磁线圈驱动的MEMS变形镜，其特征在于，所述多层电磁线圈可以是铜、金、银、铝等，多晶硅中的任何材料制作而成。

4.根据权利要求1所述的一种多层平面电磁线圈驱动的MEMS变形镜，其特征在于，所述反射镜下表面覆盖一层介电层，用于减少内部组件与面板之间的电容。

5.根据权利要求1所述的一种多层平面电磁线圈驱动的MEMS变形镜，其特征在于，所述介电层下表面中心区域覆盖并固定一层永久磁性材料层，形成永久性性材料层，介电层下表皮周边区域设有硅层，在电压通入多层电磁线圈后能够做出相应的运动。

6.根据权利要求1所述的一种多层平面电磁线圈驱动的MEMS变形镜，其特征在于，所述封装外壳，用于将内部封闭保证装置的正常运转，可以采用陶瓷或塑料作为封装外壳的制作材料。

7.根据权利要求1所述的一种多层平面电磁线圈驱动的MEMS变形镜，其特征在于，所述多层电磁线圈的单层厚度不超过100μm。

8.根据权利要求1所述的一种多层平面电磁线圈驱动的MEMS变形镜，其特征在于，所述多层电磁线圈的形状为圆形。

9.根据权利要求1所述的一种多层平面电磁线圈驱动的MEMS变形镜，其特征在于，所述介电层选用聚绊亚胺、SOG、氧化硅、氮化硅中的材料制成。

10.根据权利要求2所述的一种多层平面电磁线圈驱动的MEMS变形镜，其特征在于，所述多层线圈的层数应设置为偶数层数。