[发明专利]一种超薄一维有机单晶阵列薄膜及其制备方法和应用有效

专利信息
申请号: 202110030859.7 申请日: 2021-01-11
公开(公告)号: CN112786785B 公开(公告)日: 2022-09-02
发明(设计)人: 张钰;吴雨辰;江雷 申请(专利权)人: 季华实验室
主分类号: H01L51/40 分类号: H01L51/40;H01L51/30;H01L51/05
代理公司: 佛山市海融科创知识产权代理事务所(普通合伙) 44377 代理人: 陈志超;唐敏珊
地址: 528200 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 超薄 有机 阵列 薄膜 及其 制备 方法 应用
【权利要求书】:

1.一种超薄一维有机单晶阵列薄膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

(1)在基底上滴加第一有机半导体溶液;

(2)取表面刻蚀有硅柱的另一氧化硅片,将刻蚀有硅柱的一面覆盖在第一有机半导体溶液之上,在50-120℃下加热;

(3)在氧化硅片的边缘滴加第二有机半导体溶液,第二有机半导体溶液覆盖基底,在50-120℃下加热;

第一有机半导体溶液的溶质为有机半导体,溶剂为有机挥发性溶剂;第二有机半导体溶液的溶质和溶剂与第一有机半导体溶液相同;

所述有机半导体为TIPS-pentacene、C10-BTBT或C6-DPA;

第一有机半导体溶液的浓度范围是1~5 mg/mL;第二有机半导体溶液的浓度范围是0.1~0.3 mg/mL;

所述超薄一维有机单晶阵列薄膜的厚度为1.6~20 nm。

2.根据权利要求1所述的超薄一维有机单晶阵列薄膜的制备方法,其特征在于,所述有机挥发性溶剂为甲苯、氯苯或邻二氯苯。

3.根据权利要求1所述的超薄一维有机单晶阵列薄膜的制备方法,其特征在于,步骤(2)中加热的时间为6-7小时,步骤(3)中加热的时间为6-7小时。

4.一种超薄一维有机单晶阵列薄膜,其特征在于,采用如权利要求1~3任一所述的超薄一维有机单晶阵列薄膜的制备方法制备得到。

5.一种如权利要求4所述的超薄一维有机单晶阵列薄膜的应用,其特征在于,将所述超薄一维有机单晶阵列薄膜用于制备场效应晶体管器件。

6.根据权利要求5所述的超薄一维有机单晶阵列薄膜的应用,其特征在于,所述场效应晶体管器件由下至上依次包括基底、所述超薄一维有机单晶阵列薄膜和Au电极。

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