[发明专利]一种转移装置及转移方法在审
申请号: | 202110031508.8 | 申请日: | 2021-01-11 |
公开(公告)号: | CN112864076A | 公开(公告)日: | 2021-05-28 |
发明(设计)人: | 高志坤;彭锦涛;秦斌;王玮 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L21/66;H01L21/67;H01L33/48 |
代理公司: | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人: | 解婷婷;曲鹏 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 转移 装置 方法 | ||
一种转移装置及转移方法,所述转移装置包括设置在所述衬底上的至少一个转移结构,所述转移结构包括:光敏检测子电路、转移控制子电路和转移头,所述光敏检测子电路连接所述转移控制子电路,所述转移控制子电路连接所述转移头,所述光敏检测子电路被配置为,检测发光元件是否发光,输出光敏检测信号至所述转移控制子电路;所述转移控制子电路被配置为,根据所述光敏检测信号,输出转移控制信号至所述转移头,以控制所述转移头产生或失去吸附力;所述转移头被配置为,接收所述转移控制子电路的转移控制信号,产生或失去吸附力,以拾取或释放所述发光元件。
技术领域
本申请实施例涉及但不限于显示技术,尤指一种转移装置及转移方法。
背景技术
微型发光二极管(Micro-LED)显示技术兼具液晶显示(Liquid Crystal Display,LCD)和有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode,OLED)的优点,具有低功耗、高亮度、高对比度、超高分辨率与色彩饱和度、反应速度快、超省电、长寿命、效率高等特点,被视作现有技术水平下的终极显示技术。制备过程中涉及检测合格后将发光二极管(LightEmitting Diode,LED)转移到显示基板上的巨量转移过程,技术难度较大。
发明内容
以下是对本文详细描述的主题的概述。本概述并非是为了限制权利要求的保护范围。
本公开实施例提供了一种转移装置和转移方法,提高转移效率。
一方面,本公开实施例提供了一种转移装置,包括设置在衬底上的至少一个转移结构,所述转移结构包括:光敏检测子电路、转移控制子电路和转移头,所述光敏检测子电路连接所述转移控制子电路,所述转移控制子电路连接所述转移头,其中:
所述光敏检测子电路被配置为,检测发光元件是否发光,输出光敏检测信号至所述转移控制子电路;
所述转移控制子电路被配置为,根据所述光敏检测信号,输出转移控制信号至所述转移头,以控制所述转移头产生或失去吸附力;
所述转移头被配置为,接收所述转移控制子电路的转移控制信号,产生或失去吸附力,以拾取或释放所述发光元件。
在一示例性实施例中,所述光敏检测子电路包括光控开关子电路,
所述光敏检测子电路包括光控开关子电路,所述光控开关子电路分别与第一电源端和第一节点连接,所述转移控制子电路连接所述第一节点,所述光控开关子电路被配置为,当所述发光元件发光时,向所述第一节点提供所述第一电源端的信号;当所述发光元件不发光时,关断所述第一电源端和所述第一节点。
在一示例性实施例中,所述转移控制子电路包括第一控制子电路、第二控制子电路、第三控制子电路和存储子电路,其中:
所述第一控制子电路分别与所述第一节点、第二电源端和控制信号端连接,被配置为,在所述控制信号端的控制下,向所述第一节点提供所述第二电源端的信号;
所述第二控制子电路分别与第三电源端、所述第一节点和第二节点连接,被配置为,在所述第一节点的控制下,向所述第二节点提供所述第三电源端的信号;
所述存储子电路分别与所述第二节点和所述转移头的第一电极连接,被配置为,存储所述第二节点和所述转移头的第一电极之间的电压值;
所述第三控制子电路分别与第四电源端、所述第一节点和所述转移头的第二电极连接,被配置为,在所述第一节点的控制下,向所述转移头的第二电极提供所述第四电源端的信号。
在一示例性实施例中,所述第一电源端为高电平信号,所述第二电源端为低电平信号;或者,所述第一电源端为低电平信号,所述第二电源端为高电平信号。
在一示例性实施例中,所述光控开关子电路包括光敏电阻,所述光敏电阻的一端连接所述第一电源端,另一端连接所述第一节点。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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