[发明专利]一种基于MEMS微镜的光学扫描装置在审
| 申请号： | 202110033979.2 | 申请日： | 2021-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN112630959A | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 秦毅;任斌;王福杰;郭芳;胡耀华;姚智伟 | 申请（专利权）人： | 东莞理工学院 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G02B26/10 |
| 代理公司： | 北京欣鼎专利代理事务所(普通合伙) 11834 | 代理人： | 王阳虹 |
| 地址： | 523808 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 mems 光学 扫描 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于MEMS微镜的光学扫描装置，其特征在于，包括：激光光源、激光自准直仪、MEMS微镜和反射镜，激光光源发出入射光线，入射光线进入激光自准直仪，光线准直后由MEMS微镜反射，MEMS微镜反射光线到反射镜面，反射镜面将光线折射回MEMS微镜，MEMS微镜进行圆周扫描将光线反射至样本上。
2.根据权利要求1所述基于MEMS微镜的光学扫描装置，其特征在于，所述激光光源的光源入口为漏斗状开口，方便入射光线进入到装置内部。
3.根据权利要求1所述基于MEMS微镜的光学扫描装置，其特征在于所述激光自准直仪设置在所述装置内部，用以将激光光源照射后光线准直并反射在MEMS微镜上。
4.根据权利要求1所述基于MEMS微镜的光学扫描装置，其特征在于所述反射镜中间位置为中空，用以入射光线通过，反射镜内壁为反射镜镜面。
5.根据权利要求1所述基于MEMS微镜的光学扫描装置，其特征在于所述装置上与光源入口相对一侧设有出射窗，用以将MEMS微镜反射所述反射镜所反射的光线反射至扫描样本。
6.根据权利要求1所述基于MEMS微镜的光学扫描装置，其特征在于所述MEMS微镜为二维MEMS微镜，MEMS微镜的驱动方式为电磁驱动。
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