[发明专利]一种用于体温区间的高灵敏度负温度系数柔性传感器及测温方法

权利要求书

1.一种用于体温区间的高灵敏度负温度系数柔性传感器，其特征在于：包括柔性基底，柔性基底上固定有氧化锌材料，氧化锌材料上设有电极，电极与电源相连。

2.根据权利要求1所述的用于体温区间的高灵敏度负温度系数柔性传感器，其特征在于：所述氧化锌材料的氧空位浓度为15％～90％。

3.根据权利要求2所述的用于体温区间的高灵敏度负温度系数柔性传感器，其特征在于：所述氧化锌材料的氧空位浓度为15％～30％或70％～90％。

4.根据权利要求1所述的用于体温区间的高灵敏度负温度系数柔性传感器，其特征在于：所述电极沿氧化锌材料的长度方向等间距设置。

5.根据权利要求1所述的用于体温区间的高灵敏度负温度系数柔性传感器，其特征在于：氧化锌材料为薄膜、纳米线、微米线或块体。

6.根据权利要求1所述的用于体温区间的高灵敏度负温度系数柔性传感器，其特征在于：电极的材料为铟、氧化铟锡、Ni/Au合金或Ti/Au合金。

7.根据权利要求1所述的用于体温区间的高灵敏度负温度系数柔性传感器，其特征在于：所述柔性基底为无机柔性材料或有机柔性材料。

8.根据权利要求1所述的用于体温区间的高灵敏度负温度系数柔性传感器，其特征在于：还包括信号接收系统和信号处理系统，信号接收系统与信号处理系统通过无线传输连接；信号接收系统将电流信号传输至信号处理系统，信号处理系统将电流信号转化为温度信号。

9.一种用于体温区间的高灵敏度负温度系数柔性传感器的测温方法，其特征在于包括如下步骤：

(1)将氧化锌材料转移至柔性基底上固定，在氧化锌材料上设置电极，电极与电源相连，形成温度传感器器件；

(2)将器件在标准温度下测试得到标准电流曲线，并将电流与温度的曲线输入信号处理系统；

(3)将温度传感器件安装于待测部位，测试器件的电流，将测试得到的电流传输至信号处理系统转化为实时温度值。

10.根据权利要求9所述的用于体温区间的高灵敏度负温度系数柔性传感器的测温方法，其特征在于：通过调控氧化锌材料的氧空位浓度，改变器件的测温灵敏度。