[发明专利]一种微型三轴加速度传感器结构在审
| 申请号： | 202110034880.4 | 申请日： | 2021-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN112730891A | 公开（公告）日： | 2021-04-30 |
| 发明（设计）人： | 张鹏;王小龙;程发斌;朱昌亚;韩海军;伍星 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院总体工程研究所 |
| 主分类号： | G01P15/09 | 分类号： | G01P15/09;G01P15/18 |
| 代理公司： | 北京天奇智新知识产权代理有限公司 11340 | 代理人： | 许驰 |
| 地址： | 621908*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 微型 加速度 传感器 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种微型三轴加速度传感器结构，其特征在于，包括：
传感器基座；传感器基座上设置有三根中心柱；三根中心柱中任意两根均垂直；
三个定位环；定位环套装在中心柱外侧；
三个剪切压电环；剪切压电环套装在定位环外侧；
三个内锥环；内锥环套装在剪切压电环外侧；内锥环的锥面设置在外侧；
三个外锥环；外锥环套装在内锥环外侧；外锥环的锥面设置在内侧，外锥环的锥面与内锥环的锥面配合。
2.根据权利要求1所述的一种微型三轴加速度传感器结构，其特征在于，内锥环的纵向截面形成为C型。
3.根据权利要求2所述的一种微型三轴加速度传感器结构，其特征在于，内锥环的内侧壁上开设有多个凹槽，多个凹槽均为沿内锥环的轴向布设。
4.根据权利要求3所述的一种微型三轴加速度传感器结构，其特征在于，内锥环的内侧壁上均匀开设有三个凹槽。
5.根据权利要求1-4任一项所述的一种微型三轴加速度传感器结构，其特征在于，内锥环、外锥环均采用高比重合金制成。
6.根据权利要求1所述的一种微型三轴加速度传感器结构，其特征在于，中心柱与定位环的端面焊接；内锥环与外锥环焊接。
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