[发明专利]一种微电子机械系统MEMS加速度计

权利要求书

1.一种微电子机械系统MEMS加速度计，其特征在于，包括MEMS加速度计电路板、MEMS陀螺仪电路板、陀螺AD信号处理电路板和基座，基座为传感器提供三轴正交安装的基准及陀螺仪AD信号处理电路板安装空间，MEMS加速度计电路板为X、Y、Z三轴正交设置的单轴MEMS加速度计电路板，感应并输出组合的线加速度模拟信号及加速度计温度模拟信号，MEMS陀螺仪电路板为X、Y、Z三轴正交设置的单轴MEMS陀螺仪电路板，感应并输出组合的角速率模拟信号及陀螺仪温度模拟信号，陀螺AD信号处理电路板为MEMS陀螺仪电路板供电，同时实时采集角速率模拟信号及陀螺仪温度模拟信号，并将模拟信号转换成数字量信号后对外输出。

2.根据权利要求1所述的一种微电子机械系统MEMS加速度计，其特征在于，MEMS陀螺仪电路板安装平面的垂直度误差在20μm以内。

3.根据权利要求1所述的一种微电子机械系统MEMS加速度计，其特征在于，三个MEMS加速度计电路板的外形尺寸及安装尺寸一致，MEMS加速度计电路板安装平面相互之间的垂直度误差在20μm以内。

4.根据权利要求1所述的一种微电子机械系统MEMS加速度计，其特征在于，同一轴向MEMS加速度计电路板和MEMS陀螺仪电路板的平行度误差在20μm以内。

5.根据权利要求1所述的一种微电子机械系统MEMS加速度计，其特征在于，基座表面进行黑色瓷质氧极化处理。

6.根据权利要求1所述的一种微电子机械系统MEMS加速度计，其特征在于，基座顶部的两边留有出线槽，三个MEMS加速度计电路板的导线在顶部绑扎成线束后通过左侧走线槽引出，三个MEMS陀螺仪电路板导线在顶部绑扎成线束后通过右侧走线槽引出，基座底部的圆形空腔内安装陀螺仪AD信号处理电路板，基座底部上侧留有走线槽，陀螺AD信号电路板的导线经过走线槽与外部电路连接，基座与外界进行机械连接。