[发明专利]一种MCVD喷灯在线调节装置及其调节方法在审

专利信息
申请号: 202110036960.3 申请日: 2021-01-12
公开(公告)号: CN112794637A 公开(公告)日: 2021-05-14
发明(设计)人: 刘瑞林;钱昆;江锋;金其锋;张梁;潘丰;严薇;平湖;计金龙 申请(专利权)人: 江苏法尔胜光子有限公司
主分类号: C03B37/018 分类号: C03B37/018
代理公司: 江阴市轻舟专利代理事务所(普通合伙) 32380 代理人: 孙燕波
地址: 214400 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 mcvd 喷灯 在线 调节 装置 及其 方法
【权利要求书】:

1.一种MCVD喷灯在线调节装置,其特征在于:包括多组可转式支架单元和校准棒(1),所述校准棒(1)水平横向设置,所述校准棒(1)的正下方设有热成像仪(4),多组所述可转式支架单元均匀分布于校准棒(1)下方;两所述可转式支架单元构成一组,构成一组的两所述可转式支架单元对称设于校准棒(1)两侧,任一所述可转式支架单元上分别设置喷灯(2),所述可转式支架单元能够对喷灯(2)的喷射角度进行调节使所述喷灯(2)分别对向校准棒(1);所述可转式支架单元能够相对校准棒(1)移动,实现喷灯(2)相对校准棒的距离调节;

各所述可转式支架单元分别包括两平行设置的可转式支架(3),所述可转式支架(3)为中空式结构件,一所述可转式支架(3)内腔作为氧气通道,另一所述可转式支架(3)内腔作为氢气通道,所述氧气通道和氢气通道分别与喷灯(2)连通,使得氧气和氢气通入喷灯(2)内,为喷灯(2)提供氢氧焰气体原料。

2.根据权利要求1所述的一种MCVD喷灯在线调节装置,其特征在于:所述可转式支架(3)上分别设有流量计。

3.根据权利要求2所述的一种MCVD喷灯在线调节装置,其特征在于:所述可转式支架(3)分别包括移动杆(3.1)和旋转杆(3.2),所述移动杆(3.1)竖向设置,所述移动杆(3.1)顶端铰接旋转杆(3.2),且所述移动杆(3.1)内腔与旋转杆(3.2)内腔连通,所述喷灯(2)设于旋转杆(3.2)上,当所述旋转杆(3.2)旋转时,带动喷灯(2)同步旋转。

4.根据权利要求1所述的一种MCVD喷灯在线调节装置,其特征在于:多个所述可转式支架单元上的所述喷灯(2)设于同一圆周上,所述校准棒(1)位于所述圆周的圆心。

5.根据权利要求4所述的一种MCVD喷灯在线调节装置,其特征在于:相邻所述喷灯(2)之间的圆周角α为5~36°。

6.根据权利要求1所述的一种MCVD喷灯在线调节装置,其特征在于:所述可转式支架单元设置于线性导轨(5)上,与所述线性导轨(5)滑动配合。

7.根据权利要求3所述的一种MCVD喷灯在线调节装置,其特征在于:还设有锁紧单元,所述锁紧单元包括锁紧座(6),所述锁紧座(6)设于移动杆(3.1)和旋转杆(3.2)连接处,所述锁紧座(6)具有两个相对间隔设置的支座,两支座分别位于所述旋转杆(3.2)两侧,两所述支座上对称开设锁紧螺纹孔(6.1),所述锁紧螺纹孔(6.1)内分别从外向内拧入锁紧螺栓,通过两侧所述锁紧螺栓相对的抵住旋转杆(3.2)以锁紧所述旋转杆(3.2)。

8.根据权利要求1所述的一种MCVD喷灯在线调节装置,其特征在于:所述校准棒(1)为不透明耐高温材质制成件,且所述校准棒(1)的直径与内衬管的外径一致。

9.一种权利要求1~9中任一权项所述MCVD喷灯在线调节装置的调节方法,其特征在于:所述调节方法步骤如下:

步骤一:在喷灯点火之前,转动旋转杆,调节各喷灯对向校准棒的角度,使得喷灯对准校准棒中心且均匀环布于校准棒周围,保证各喷灯到校准棒中心的距离相等,并通过锁紧单元对旋转杆进行锁紧;

步骤二:点燃最下方的一组喷灯,设定两喷灯的气体流量相同,通过热成像仪,观察校准棒表面高温区相对校准棒中心的位置;若校准棒表面高温区偏离校准棒中心,控制系统控制对应喷灯所在可转式支架单元的线性导轨动作,让可转式支架单元横向移动,在线调节对应喷灯的横向位置,直至将最内侧的一组喷灯在校准棒表面的高温区调整至校准棒中心。

步骤三:由内向外依次调节每组喷灯的横向位置,保证每组喷灯在校准棒表面的高温区位于校准棒的中心;

步骤四:各组喷灯调节完成后,取走校准棒。

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