[发明专利]一种半导体晶圆抛光装置

权利要求书

1.一种半导体晶圆抛光装置，包括抛光箱体，所述抛光箱体内设有开口向右的抛光内腔，其特征在于：所述抛光内腔内设有毛边打磨装置，所述毛边打磨装置包括位于所述抛光箱体内关于所述抛光内腔前后对称的打磨传动腔，所述打磨传动腔内滑动连接有贯穿至所述抛光内腔的打磨齿条，所述打磨齿条靠近所述抛光内腔侧固定设有半圆抛光板，所述打磨齿条左侧设有打磨传动装置，所述打磨传动装置包括与所述打磨传动腔转动连接的关于所述抛光内腔前后对称的打磨从动轴，所述打磨从动轴固定设有打磨从动带轮，所述打磨从动轴固定设有与所述打磨齿条啮合传动的打磨从动齿轮，两个所述打磨传动腔左侧贯通设有带轮腔，所述带轮腔内转动连接有前后对称的打磨传动轴，所述打磨传动轴固定设有打磨传动带轮，所述打磨传动带轮与所述打磨从动带轮之间通过打磨从动轮带传动，所述抛光内腔上下内壁对称设有表面抛光腔，所述表面抛光腔左侧设有表面抛光装置，所述表面抛光装置包括与所述表面抛光腔内壁转动连接的抛光螺杆，所述抛光螺杆靠近所述抛光内腔侧固定设有抛光螺杆花键，所述表面抛光腔内壁滑动连接有抛光箱体，所述抛光箱体内设有开口向远离所述抛光内腔的抛光螺纹腔，所述抛光螺纹腔与所述抛光螺杆花键之间固定设有抛光螺杆弹簧，所述抛光箱体设有开口向所述抛光内腔的抛光压紧滑腔，所述抛光压紧滑腔内滑动连接有抛光压紧滑块，所述抛光压紧滑块与所述抛光压紧滑腔之间固定设有抛光压紧弹簧，所述抛光压紧滑块靠近所述抛光内腔侧固定设有抛光压紧花键，所述抛光压紧花键靠近所述抛光内腔侧固定设有抛光轮盘，所述抛光螺纹腔内壁设有左右对称的夹紧块滑腔，所述夹紧块滑腔内滑动连接且与所述抛光螺杆和所述抛光螺杆花键滑动连接有夹紧块，所述夹紧块滑腔远离所述抛光螺杆侧设有开口向所述抛光螺杆的夹紧滑杆腔，所述夹紧滑杆腔内滑动连接有与所述夹紧块固定连接的夹紧滑杆，所述夹紧滑杆与所述夹紧滑杆腔之间固定设有夹紧弹簧，所述表面抛光腔左侧设有抛光传动装置；所述毛边打磨装置还包括位于所述半圆抛光板靠近所述抛光内腔侧开口向所述抛光内腔的压紧滑腔，所述压紧滑腔内滑动连接有压紧滑杆，所述压紧滑杆与所述压紧滑腔之间固定设有压紧弹簧，所述压紧滑杆靠近所述抛光内腔侧固定设有压紧板；所述打磨传动装置还包括与所述带轮腔下侧固定设有带轮电机，所述带轮电机动力连接有带轮电机轴，所述带轮腔转动连接有输出轴，所述带轮电机轴与所述输出轴上各固定设有一个相互啮合传动的主动齿轮，所述带轮电机轴与所述输出轴上各固定设有一个电机主动带轮，所述打磨传动轴固定设有打磨中间带轮，所述电机主动带轮与所述打磨中间带轮之间通过电机轮带传动；所述表面抛光装置还包括位于所述抛光轮盘靠近所述半圆抛光板侧固定设有的抛光刮板，所述抛光刮板前侧设有开口向所述半圆抛光板的回收腔，所述抛光螺杆固定设有抛光从动齿轮；所述抛光传动装置包括与下侧的所述表面抛光腔固定设有的抛光电机，所述抛光电机动力连接有抛光电机轴，所述抛光电机轴固定设有与下侧所述抛光从动齿轮啮合传动的抛光主动齿轮，所述抛光电机轴固定设有抛光主动带轮，上侧的所述表面抛光腔转动连接有抛光从动轴，所述抛光从动轴固定设有与上侧所述抛光从动齿轮啮合传动的抛光传动齿轮，所述抛光从动轴固定设有抛光从动带轮，两个所述表面抛光腔内转动连接有抛光传动轴，所述抛光传动轴固定设有抛光传动带轮，所述抛光传动带轮与所述抛光主动带轮之间通过抛光主动轮带传动，所述抛光传动轴固定设有抛光中间带轮，所述抛光中间带轮与所述抛光从动带轮之间通过抛光从动带传动。