[发明专利]诊断探头、气体成分的激光诱导击穿光谱诊断系统及方法

权利要求书

1.一种诊断探头，其特征在于，所述诊断探头是一个用于激光诱导击穿光谱的诊断探头，包括聚焦探头和金属衬底，所述金属衬底设置在所述聚焦探头的焦点处。

2.根据权利要求1所述的一种诊断探头，其特征在于，所述金属衬底为铜板或铝板。

3.一种气体成分的激光诱导击穿光谱诊断系统，其特征在于，包括激光器、耦合模块、光谱仪、控制模块以及如权利要求1或2所述的诊断探头；其中，所述耦合模块和所述诊断探头通过光纤连接；

所述控制模块输出第一控制指令，所述第一控制指令作用于所述激光器，以使所述激光输出第一光信号，所述第一光信号经所述耦合模块耦合至所述光纤并经所述光纤传输至所述聚焦探头，所述聚焦探头将所述第一光信号聚焦至所述金属衬底，所述金属衬底在所述第一光信号的作用下产生等离子体，被探测气体在所述等离子体的作用下产生第二光信号；

所述控制模块输出第二控制指令，所述第二控制指令作用于所述光谱仪，以使所述光谱仪对所述聚焦探头采集的所述第二光信号进行光谱测试。

4.根据权利要求3所述的一种气体成分的激光诱导击穿光谱诊断系统，其特征在于，所述耦合模块包括第一耦合镜头、二向色镜以及第二耦合镜头，所述二向色镜与所述聚焦探头通过所述光纤连接；

当所述激光器输出所述第一光信号时，所述第一光信号经所述第一耦合镜头耦合至所述二向色镜，并经所述二向色镜透射后经所述光纤传输至所述聚焦探头；

当所述聚焦探头采集到所述第二光信号时，所述第二光信号经所述光纤传输至所述二向色镜，经所述二向色镜反射后传输至所述第二耦合镜头，所述第二耦合镜头将所述第二光信号耦合至所述光谱仪。

5.根据权利要求4所述的一种气体成分的激光诱导击穿光谱诊断系统，其特征在于，所述控制模块包括同步控制单元，所述同步控制单元用于同步生成所述第一控制指令和所述第二控制指令。

6.使用如权利要求3-5中任意一项所述的一种气体成分的激光诱导击穿光谱诊断系统的方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1：获取第一控制指令，所述第一控制指令用于控制激光器输出第一光信号；

S2：获取第二光信号，所述第二光信号由被探测气体与等离子体碰撞获取，所述等离子体由所述第一光信号与金属衬底作用生成；

S3：获取被测气体光谱，所述被测气体光谱由光谱仪对所述第二光信号检测获取。