[发明专利]一种数字化分布式干涉成像系统有效
申请号: | 202110038335.2 | 申请日: | 2021-01-12 |
公开(公告)号: | CN112857410B | 公开(公告)日: | 2022-11-04 |
发明(设计)人: | 韩春蕊;王宇;叶征宇;伍剑 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所 |
主分类号: | G01D5/26 | 分类号: | G01D5/26 |
代理公司: | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人: | 刘广达 |
地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 数字化 分布式 干涉 成像 系统 | ||
1.一种数字化分布式干涉成像系统,其特征在于,包括:参考光单元、物光信息采集单元以及图像重构单元;所述物光信息采集单元包括微镜层、波导层和数字化层;
所述参考光单元,用于发射相干参考光;
所述微镜层,包括多个微镜,多个微镜构成多个微镜阵列,多个微镜阵列呈分布式排布,用于离散式采集目标物体的物光;
所述波导层,包括多个干涉单元,多个干涉单元构成多个干涉单元阵列,多个干涉单元阵列呈分布式排布,并与多个微镜一一对应设置,多个干涉单元均与所述参考光单元通过波导连接,参考光与物光在干涉单元中干涉;
所述数字化层,用于将干涉单元输出的参考光与物光的干涉结果转换为模拟电信号,并将模拟电信号放大与过滤,经模数转换,最终生成所述干涉结果对应的数字化信息,利用所述参考光的已知信息从所述数字化信息中解调出目标物体数字化的物光信息;
所述图像重构单元,用于根据预设的干涉基线设计方案,每个微镜的位置信息,及其采集的离散化物光对应的物光信息,重构目标物体的图像;所述干涉基线设计方案中包括所有两两微镜配对形成的干涉基线矢量;
所述波导层包括多个干涉单元阵列,每个干涉单元阵列包括多个干涉单元,每个干涉单元阵列分别通过波导或光纤与所述参考光单元连接;
所述干涉单元包括垂直耦合器、第一移相器、第二移相器和干涉部件;
所述垂直耦合器与所述干涉部件通过波导连接,所述第一移相器设置于所述参考光单元和所述干涉部件之间,所述第二移相器设置于所述干涉部件内;
物光被微镜采集并通过垂直耦合器进入干涉部件,参考光通过第一移相器统一相位后进入干涉部件,通过第二移相器调整相位至预设相位,调整相位后的参考光与物光在干涉部件中干涉;
所述数字化层包括多个光探测部件、模拟电信号处理电路、以及模拟/数字转换电路;其中,多个光探测部件呈分布式排布,并与多个干涉单元一一对应设置;
所述光探测部件,用于探测对应干涉单元中的干涉结果,将所述干涉结果转化为模拟电信号;
所述模拟电信号处理电路,用于将每一个光探测部件输出的模拟电信号进行信号放大和噪音过滤处理;
所述模拟/数字转换电路,将处理过的模拟电信号转换为数字信号,得到所述干涉结果对应的数字化信息。
2.根据权利要求1所述的数字化分布式干涉成像系统,其特征在于,所述参考光单元为相干光源,所述相干光源为脉冲激光、光梳或间隔出光的连续激光。
3.根据权利要求1至2中任一项所述的数字化分布式干涉成像系统,其特征在于,所述物光信息包括波幅信息和相位信息。
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