[发明专利]一种真空镀膜OD在线测厚仪在审
申请号: | 202110038479.8 | 申请日: | 2021-01-12 |
公开(公告)号: | CN112815859A | 公开(公告)日: | 2021-05-18 |
发明(设计)人: | 曹玉霞 | 申请(专利权)人: | 上海苗威科技有限公司 |
主分类号: | G01B11/06 | 分类号: | G01B11/06 |
代理公司: | 深圳深瑞知识产权代理有限公司 44495 | 代理人: | 刘慧玲 |
地址: | 201700 上海市青浦区赵巷*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 真空镀膜 od 在线 测厚仪 | ||
一种真空镀膜OD在线测厚仪,包括:主机体,其外侧设置有铝合金机架,且铝合金机架的中部开设有用于放置被侧材料的料槽,所述主机体内位于料槽的边侧位置处设置有用于测量被侧材料厚度的测量组件,该测量组件中的单片机可与CCD模块连接,并通过串口与PC端通讯;两组固定支架;其技术要点为,本发明为了克服现有的测量问题,本测厚仪使用测量镜头替代原OD测量探头有效解决了体积的局限,做到了覆盖整个膜宽的测量要求,行内称为面测量;本发明使用到带有撑架组件的盖板,在未使用时可对料槽进行覆盖防护,在展开使用时利用撑架组件可对被测材料进行支撑,方便被测材料在料槽内移动,避免传统被测材料在料槽内晃动,造成测量结果出现误差的情况。
技术领域
本发明属于测厚仪领域,具体是一种真空镀膜OD在线测厚仪。
背景技术
随着近几年新能源科技的高速发展,对电容行业中新能源电容的需求和质量要求产生了很大的压力;特别是高方阻电容,方阻要求达到100方欧甚至更高。而当方阻大于20方欧后,在现镀膜机上原有的接触式方阻在线测量已超出测量范围不再适用;
因此现在行业内普遍使用的OD测量方式替代方阻测量,但是现有的OD测量方式都是点测量方式,一般一台电容镀膜机上配一个或多个探头,但由于探头个体体积所限最多也只能测量10多个位置,
如深圳林上科技的LS152型真空镀膜在线测厚仪每个测量头所占宽度为54mm,无法检测整个膜面的整体方阻或者说透光率的均匀性,而且在镀不同规格的产品时探头必需进行相应调整,使用不方便而且可靠性低,因此行业内急需一种能在线测量显示整个膜面的透光率的仪器。
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术的缺陷,提供一种真空镀膜OD在线测厚仪。
为实现上述目的,本发明采用了如下技术方案:
一种真空镀膜OD在线测厚仪,包括:
主机体,其外侧设置有铝合金机架,且铝合金机架的中部开设有用于放置被侧材料的料槽,所述主机体内位于料槽的边侧位置处设置有用于测量被侧材料厚度的测量组件,该测量组件中的单片机可与CCD模块连接,并通过串口与P C端通讯;
两组固定支架,其焊接于铝合金机架的两侧,并与真空室的内壁固定连接;以及
两组盖板,其翻转式装配到主机体的两侧,并对料槽的开口覆盖,所述盖板内壁的凹槽中安装有用于支撑被侧材料的撑架组件,且撑架组件包含一号架杆、二号架杆以及三号架杆,所述一号架杆和二号架杆之间通过设置辊轮连接,所述一号架杆与盖板之间、二号架杆与三号架杆之间以及三号架杆与盖板之间均通过设置扭转弹簧连接。
优选的,所述测量组件包括若干测量镜头、控制器以及光源,且若干测量镜头和控制器呈等间距分布,并分布于料槽一侧,所述光源安装到主机体内位于料槽的另一侧。
优选的,所述单片机通过AD0-A1-A0数据线与CCD模块连接,该CCD模块的核心是一片具有128个像素的线性CCD,且CCD模块用于对图像进行采集。
优选的,所述主机体可安装到真空室内,且真空室的墙壁上贯穿式设置有真空电极法兰,所述主机体配套的导线经过真空电极法兰,与外部的电源和PC端连接。
优选的,所述盖板可翻转的角度为90°,并在该状态下,所述撑架组件的截面呈三角形,所述辊轮的外表面可与被侧材料表面贴合。
优选的,所述盖板的内侧安装有可转动的挂钩,所述三号架杆边侧预设的槽体内架设式焊接有若干可与挂钩挂接的钩杆。
一种真空镀膜OD在线测厚仪,该测厚仪的使用步骤为:
S1、使用若干测量镜头进行聚焦,设计镜头拍摄对象成像的横向尺寸70mm,角度70°,聚焦距离为5mm;
上述焦距计算公式为:f=v×D/V或f=h×D/H f,
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