[发明专利]玻璃组合物

说明书

本发明提供一种玻璃组合物，所述玻璃组合物的组分以摩尔百分比表示，含有：SiO₂：57～84％、B₂O₃：9～36％、Al₂O₃：0.6～6.2％、Rn₂O：0.5～6.1％，其中Al₂O₃/B₂O₃为0.05～0.4，所述Rn₂O为Li₂O、Na₂O、K₂O中的一种以上。通过合理的组分设计，本发明玻璃组合物的相对介电常数较低，化学稳定性优异。

技术领域

本发明涉及一种玻璃组合物，尤其是涉及一种低介电常数的玻璃组合物。

背景技术

近年来，集成电路的集成度逐渐提高，射频连接器、微波器件等工作频率范围也大幅提高。为了降低由此带来的阻抗延时及功率损耗，除了采用低电阻率金属外，重要的是降低介质层的寄生电容。电容(C)与介电常数成正比，因此，通过采用低介电常数材料作为互连介质，可以减小阻抗延迟，从而满足集成电路发展的需要。除此之外，半导体领域对低介电常数材料的研究也日益增多，玻璃的介电性能已成为决定其在电子领域应用的重要指标之一。玻璃在制成元器件的过程中，会经过多轮的清洗，以及在使用过程中，玻璃元器件会遇到各种潮湿、酸、碱等环境，这就要求相关的玻璃材料具有优异的化学稳定性。因此，研发具有优异化学稳定性和较低介电常数的玻璃材料是时代的发展给科研工作者提出的一个新课题。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种化学稳定性优异、相对介电常数较低的玻璃组合物。

本发明解决技术问题所采用的技术方案是：

(1)玻璃组合物，其组分以摩尔百分比表示，含有：SiO₂：57～84％、B₂O₃：9～36％、Al₂O₃：0.6～6.2％、Rn₂O：0.5～6.1％，其中Al₂O₃/B₂O₃为0.05～0.4，所述Rn₂O为Li₂O、Na₂O、K₂O中的一种以上。

(2)根据(1)所述的玻璃组合物，其组分以摩尔百分比表示，还含有：RO：0～5.1％、澄清剂：0～0.6％，所述RO为BaO、SrO、CaO、MgO中的一种以上，澄清剂为Sb₂O₃、SnO₂、SnO、CeO₂中的一种或多种。

(3)玻璃组合物，其组分中含有SiO₂、B₂O₃、Al₂O₃和Rn₂O，其组分以摩尔百分比表示，其中Al₂O₃/B₂O₃为0.05～0.4，所述玻璃组合物的相对介电常数ε为5.5以下，耐水作用稳定性D_w为2类以上，所述Rn₂O为Li₂O、Na₂O、K₂O中的一种以上。