[发明专利]一种高精度痕量水氧测量系统

权利要求书

1.一种高精度痕量水氧测量系统，其特征在于，该高精度痕量水氧测量系统包括：

用于对气源进行过滤的过滤器；

用于对气源进行净化的净化器；

用于对气源的水氧含量进行检测的检测系统，其包括采用光腔衰荡光谱法测量痕量水分的痕量水检测器和利用库仑电量法测量痕量氧的痕量氧检测器，痕量水检测器和痕量氧检测器并联；以及

与检测系统连接的显示器以实时地显示水含量和/或氧含量；

气源通过仅包括过滤器不包括净化器的第一通路与检测系统连通以测量仅经过过滤前处理的气源的水含量和/或氧含量；

或气源通过包括过滤器和净化器的第二通路与检测系统连通以测量经过过滤和净化前处理的气源的水含量和/或氧含量；

或气源通过不包括过滤器或净化器第三通路与检测系统连通以测量未经过过滤与净化前处理的气源的水含量和/或氧含量；

或气源通过仅包括净化器不包括过滤器的第四通路与检测系统连通以测量仅经过净化前处理的气源的水含量和/或氧含量。

2.根据权利要求1所述的高精度痕量水氧测量系统，其特征在于，第一通路和第二通路为两条并列的检测通路以选择经过过滤器后是否再经过净化器进行水氧检测；第一通路和第三通路为两条并列的检测通路以选择是否经过过滤器直接进行水氧检测；第三通路和第四通路为两条并列的检测通路以选择是否经过净化器直接进行水氧检测；第二通路和第四通路为两条并列的检测通路以选择是否经过过滤器后再经过净化器进行水氧检测。

3.根据权利要求1所述的高精度痕量水氧测量系统，其特征在于，高精度痕量水氧测量系统还包括两条并列的第一旁路和第二旁路以选择是否经过过滤器吹扫。

4.根据权利要求1所述的高精度痕量水氧测量系统，其特征在于，痕量水检测器和痕量氧检测器的上游分别设计有单独的用于控制气体走向的开关和用于调节气体流量的流量计。

5.根据权利要求4所述的高精度痕量水氧测量系统，其特征在于，开关位于流量计的上游。

6.根据权利要求1所述的高精度痕量水氧测量系统，其特征在于，气源为非酸性高纯气体。

7.根据权利要求6所述的高精度痕量水氧测量系统，其特征在于，气源为氢气、氦气、氖气、氩气、氪气、氙气、氮气、一氧化碳、一氧化二氮、一氧化氮、氟利昂和/或烃类和/或烃类衍生物。

8.根据权利要求1所述的高精度痕量水氧测量系统，其特征在于，气源为待测气体或含有确定水氧含量的标准气体。

9.根据权利要求1所述的高精度痕量水氧测量系统，其特征在于，高精度痕量水氧测量系统还包括用于防止尾气污染环境的尾气处理装置。

10.根据权利要求9所述的高精度痕量水氧测量系统，其特征在于，尾气处理装置包括缓冲装置、酸液处理装置、干燥装置和氢气处理装置，其中，缓冲装置与尾气出口管道连接防止酸液处理装置发生倒吸现象，酸液处理装置与缓冲装置连接以吸收尾气中的碱性气体，干燥装置与酸液吸收装置连接以脱除离开酸液处理装置的尾气中的水分，氢气处理装置与干燥装置连接以去除离开干燥装置中的尾气中的氢气。