[发明专利]一种基于柔性铰链调焦的电子显微模块

权利要求书

1.一种基于柔性铰链调焦的电子显微模块，其特征在于，

包括显微模块、固定立柱、柔性铰链调焦器、玻片固定调平机构、玻片运动机构和光源，所述显微模块与所述固定立柱可拆卸连接，并位于所述显微模块的侧面，所述柔性铰链调焦器与所述显微模块可拆卸连接，并位于所述显微模块的底端，所述玻片固定调平机构与所述玻片运动机构可拆卸连接，并位于所述玻片运动机构的顶部，所述玻片运动机构与所述固定立柱可拆卸连接，并位于所述显微模块的下方，所述固定立柱具有凸台，所述凸台位于所述玻片运动机构的下方，所述光源与所述凸台固定连接，并贯穿所述凸台，且位于所述玻片机构的下方，所述显微模块包括定倍镜、显微镜固定块和物镜，所述定倍镜与所述显微镜固定块可拆卸连接，并位于所述显微镜固定块的顶部，所述物镜与所述显微镜固定块可拆卸连接，并位于所述显微镜固定块的底端，所述定倍镜与所述物镜连通，所述显微镜固定块与所述固定立柱可拆卸连接，并位于所述固定立柱的侧面；

所述柔性铰链调焦器包括固定座、柔性铰链传动机构、压电陶瓷和顶板，所述固定座的一端套设于所述物镜的外表面，并位于所述固定立柱的侧面，所述柔性铰链传动机构与所述固定座固定连接，并位于所述固定立柱的侧面，且嵌入所述固定座，所述压电陶瓷与所述固定座固定连接，并位于所述柔性铰链传动机构的下方，所述顶板与所述固定座可拆卸连接，并位于所述固定座的底部。

2.如权利要求1所述的基于柔性铰链调焦的电子显微模块，其特征在于，

所述玻片固定调平机构包括玻片固定板、两组螺钉和两组玻珠，所述玻片固定板通过两组所述螺钉与所述玻片运动机构可拆卸连接，并位于所述玻片运动机构的顶部，所述玻片固定板的中心具有透光孔，两组所述螺钉贯穿所述玻片固定板，并均与所述玻片运动机构可拆卸连接，且分别位于所述玻片固定板的两端，两组所述玻珠分别与所述玻片固定板转动连接，并分别位于所述透光孔的两侧，所述玻片固定板还具有两个卡槽，两个所述卡槽分别位于对应的所述玻珠的上方。

3.如权利要求2所述的基于柔性铰链调焦的电子显微模块，其特征在于，

每组所述螺钉包括两个调平螺钉和两个固定螺钉，每个所述调平螺钉贯穿所述玻片固定板，并与所述玻片固定板可拆卸连接，且位于对应的所述玻片固定板的一端，每个所述固定螺钉贯穿所述玻片固定板，并与所述玻片固定板可拆卸连接，且位于对应的所述玻片固定板的一端，两个所述固定螺钉位于对应的两个调平螺钉之间，每个所述固定螺钉的外表面具有弹簧。

4.如权利要求1所述的基于柔性铰链调焦的电子显微模块，其特征在于，

所述玻片运动机构包括第一驱动丝杆电机、第一运动板、两个第一导轨副、第二运动板、第二驱动丝杆电机和两个第二导轨副，所述第一驱动丝杆电机与所述第一运动板的侧面可拆卸连接，并位于所述固定立柱的内部，所述第一运动板与所述玻片固定调平机构可拆卸连接，并位于所述物镜的下方，所述第一运动板的底部与所述第二运动板通过两个所述第一导轨副滑动连接，并位于所述第二运动板的顶部，两个所述第一导轨副均平行于所述第一驱动丝杆电机，所述第二运动的底部通过两个所述第二导轨副与所述凸台滑动连接，并位于凸台的顶部，且两个所述第二导轨均垂直于两个第一导轨副，所述第二驱动丝杆电机与所述第二运动板的侧面可拆卸连接，并位于所述凸台的侧面，所述第二驱动丝杆电机平行于两个所述第二导轨副，所述第二驱动丝杆电机的底部与所述凸台可拆卸连接，并位于所述凸台的侧面。

5.如权利要求1所述的基于柔性铰链调焦的电子显微模块，其特征在于，

所述显微镜固定块的顶部还具有调焦螺钉，所述调焦螺钉位于所述定倍镜的侧面。