[发明专利]一种瀑布流式化学蚀刻专用治具及超薄玻璃的制备方法

说明书

本发明公开了一种瀑布流式化学蚀刻专用治具及超薄玻璃的制备方法。包括安装座，所述安装座内转动连接有转动轴，所述转动轴前端固定连接有支撑架，所述支撑架上下两侧右端均卡合连接有PVC盖板，所述支撑架上端固定连接有等距分布的支撑杆，所述支撑杆上端安装有喷淋管，所述喷淋管右端固定连接有等距分布的喷嘴。该瀑布流式化学蚀刻专用治具及超薄玻璃的制备方法，采用瀑布流式化学蚀刻方法，玻璃上无需任何压力，使玻璃不会受力破裂，高回收比例，废液最少，酸液利用率高，节省大量成本，全工序使用传送带传送，良好的表观效果，不需要重工，良率很高，不需要进行翻面作业，减低了破片风险，提高了蚀刻产能，确保玻璃上下两端的密封性。

技术领域

本发明涉及化学蚀刻薄化技术领域，具体为一种瀑布流式化学蚀刻专用治具及超薄玻璃的制备方法。

背景技术

随着现代消费数码技术的发展与需求的增长，液晶显示器广泛应用于消费数码产品中，超薄玻璃制成的液晶显示器以其体积小、形状薄、重量轻、低功耗、低发热、工作电压低、无辐射、图像还原精确等特点得到人们的青睐。

对于玻璃基板的加工工艺来说，在材料行业出现突破性进展之前，为了保证Panel成品的良率必须使用0.4mm以上厚度的原材基板，那么为了实现显示模组的轻薄化，在玻璃基板贴合之后进行薄型化加工成为一种必然的选择，目前的薄化加工技术为化学浸泡蚀刻和喷淋蚀刻两种方式，此技术可应对薄化0.3mm以上厚度，但是超薄玻璃的韧性差，很脆，对裂纹缺陷非常敏感，喷淋方式蚀刻玻璃越薄越无法支撑，玻璃非常容易破裂，存在加工良率低、破片率高、板厚均一性差等缺点。

发明内容

本发明的目的在于提供一种瀑布流式化学蚀刻专用治具及超薄玻璃的制备方法，以解决上述背景技术中提出加工良率低、破片率高、板厚均一性差的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种瀑布流式化学蚀刻专用治具，其包括安装座，所述安装座内转动连接有转动轴，所述转动轴前端固定连接有支撑架，所述支撑架上下两侧右端均卡合连接有PVC盖板，所述支撑架上端固定连接有等距分布的支撑杆，所述支撑杆上端安装有喷淋管，所述喷淋管右端固定连接有等距分布的喷嘴。

优选的，所述支撑架为“U”型结构，且支撑架的高度与待处理的玻璃高度相匹配。

优选的，所述PVC盖板的长度等于支撑架的宽度。

本发明还提供一种超薄玻璃的制备方法，其包括如上所述的一种瀑布流式化学蚀刻专用治具，其步骤如下：

步骤一：先采用常规的蚀刻工艺将玻璃减薄至0.3mm的厚度；

步骤二：再对步骤一中0.3mm的薄玻璃进行精抛作业，完全清除玻璃表面的划伤、脏污等缺陷，确保薄玻璃面内无不良及边框效果良好后再进行瀑布流式化学蚀刻作业；

步骤三：进行瀑布流式化学蚀刻操作：

(a).将步骤二中精抛后的薄玻璃装在支撑架上，根据薄玻璃的大小可以在支撑架上平行放置多片薄玻璃；

(b).通过外接的机械装置，调整支撑架的倾斜角度，支撑架后端的转动轴在安装座内转动，然后将PVC盖板安装在支撑架上，从而对薄玻璃上下两端进行密封，确保酸液只在薄玻璃外侧的表面流动；

(c).喷淋管接入酸液，设定蚀刻温度和蚀刻速率，并控制喷嘴流量，安装座进行适宜的摆动，开始进行第一次蚀刻，酸液从喷淋管经喷嘴流出，在薄玻璃表面流动，使薄玻璃减薄至0.1mm；

(d).控制喷嘴的流量，安装座进行适宜的摆动，酸液从喷淋管经喷嘴流出，在薄玻璃表面流动，进行第二次蚀刻，使薄玻璃减薄至0.05mm；

步骤四：喷淋结束后，将支撑架放平至传送带，然后从传送带流出至清洗平台，洗去玻璃表面的酸液，并在清洗机的出料口用红外线测厚仪进行多点测试，测得玻璃的厚度数据；