[发明专利]一种降低单晶铜丝电阻率的方法在审
申请号: | 202110053896.X | 申请日: | 2021-01-15 |
公开(公告)号: | CN112899694A | 公开(公告)日: | 2021-06-04 |
发明(设计)人: | 康斯坦丁·诺沃肖洛夫 | 申请(专利权)人: | 康斯坦丁·诺沃肖洛夫 |
主分类号: | C23F17/00 | 分类号: | C23F17/00;C22F1/08;C21D1/26;C21D9/52;C23C16/26 |
代理公司: | 上海硕力知识产权代理事务所(普通合伙) 31251 | 代理人: | 郭桂峰 |
地址: | 新加坡,第一工*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 降低 铜丝 电阻率 方法 | ||
1.一种降低单晶铜丝电阻率的方法,其特征在于,包括以下步骤:
S1、将单晶铜丝在非氧化气体和保护气体的氛围下,以500-1000℃下退火;
S2、向单晶铜丝通入含碳气体,在0.1-760torr下反应0.1-9999min,而后停止通入含碳气体,并降温至室温后,得到覆盖石墨烯薄膜的单晶铜丝。
2.根据权利要求1所述的降低单晶铜丝电阻率的方法,其特征在于:
所述单晶铜丝放置于耐热管内的衬底托上,所述耐热管的外部围设有炉体,所述耐热管沿进气方向的两端分别设置进气管和出气管,且所述进气管的出口、出气管的进口均朝向单晶铜丝。
3.根据权利要求2所述的降低单晶铜丝电阻率的方法,其特征在于:
所述进气管的出口和出气管的进口分别搭设于衬底托的两端上。
4.根据权利要求2所述的降低单晶铜丝电阻率的方法,其特征在于:
所述耐热管中通过真空泵抽去空气,再通入非氧化气体和保护气体。
5.根据权利要求1所述的降低单晶铜丝电阻率的方法,其特征在于:
步骤S2中,控制降温速率为0.1℃/s到100℃/s。
6.根据权利要求1所述的降低单晶铜丝电阻率的方法,其特征在于:
步骤S1中,退火时间控制为30-60min。
7.根据权利要求1所述的降低单晶铜丝电阻率的方法,其特征在于:
所述含碳气体为一氧化碳、甲烷、乙炔、乙醇、苯、甲苯、环己烷、酞菁中的任一种或多种的组合。
8.根据权利要求1所述的降低单晶铜丝电阻率的方法,其特征在于:
所述单晶铜丝的纯度为4N或5N或6N或7N或8N。
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