[发明专利]一种降低单晶铜丝电阻率的方法在审

专利信息
申请号: 202110053896.X 申请日: 2021-01-15
公开(公告)号: CN112899694A 公开(公告)日: 2021-06-04
发明(设计)人: 康斯坦丁·诺沃肖洛夫 申请(专利权)人: 康斯坦丁·诺沃肖洛夫
主分类号: C23F17/00 分类号: C23F17/00;C22F1/08;C21D1/26;C21D9/52;C23C16/26
代理公司: 上海硕力知识产权代理事务所(普通合伙) 31251 代理人: 郭桂峰
地址: 新加坡,第一工*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 一种 降低 铜丝 电阻率 方法
【权利要求书】:

1.一种降低单晶铜丝电阻率的方法,其特征在于,包括以下步骤:

S1、将单晶铜丝在非氧化气体和保护气体的氛围下,以500-1000℃下退火;

S2、向单晶铜丝通入含碳气体,在0.1-760torr下反应0.1-9999min,而后停止通入含碳气体,并降温至室温后,得到覆盖石墨烯薄膜的单晶铜丝。

2.根据权利要求1所述的降低单晶铜丝电阻率的方法,其特征在于:

所述单晶铜丝放置于耐热管内的衬底托上,所述耐热管的外部围设有炉体,所述耐热管沿进气方向的两端分别设置进气管和出气管,且所述进气管的出口、出气管的进口均朝向单晶铜丝。

3.根据权利要求2所述的降低单晶铜丝电阻率的方法,其特征在于:

所述进气管的出口和出气管的进口分别搭设于衬底托的两端上。

4.根据权利要求2所述的降低单晶铜丝电阻率的方法,其特征在于:

所述耐热管中通过真空泵抽去空气,再通入非氧化气体和保护气体。

5.根据权利要求1所述的降低单晶铜丝电阻率的方法,其特征在于:

步骤S2中,控制降温速率为0.1℃/s到100℃/s。

6.根据权利要求1所述的降低单晶铜丝电阻率的方法,其特征在于:

步骤S1中,退火时间控制为30-60min。

7.根据权利要求1所述的降低单晶铜丝电阻率的方法,其特征在于:

所述含碳气体为一氧化碳、甲烷、乙炔、乙醇、苯、甲苯、环己烷、酞菁中的任一种或多种的组合。

8.根据权利要求1所述的降低单晶铜丝电阻率的方法,其特征在于:

所述单晶铜丝的纯度为4N或5N或6N或7N或8N。

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