[发明专利]一种单晶硅外延片检测用集成系统

权利要求书

1.一种单晶硅外延片检测用集成系统，其特征在于：包括工作台和保护罩、放料装置和检测机构，所述工作台上加工有放置外延片的放置腔，放置腔表面放置有灯板，所述灯板上安装有蜂窝罩，所述蜂窝罩呈环形，放置腔中部安装有旋转台，工作台表面一侧铰接有与放置腔配合的保护罩，保护罩的内壁顶部设有与灯板配合的光敏元件，工作台表面另一侧安装有将外延片放入旋转台的放料装置，所述放料装置包括直线导轨、导轨座、机械臂和吸盘组件，所述直线导轨两端的工作台上分别设有存料盘和放料盘，且存料盘和放料盘到旋转台之间的距离相等，所述存料盘和放料盘上均设有多个放置外延片的凹槽，多个凹槽呈环形均匀分布在存料盘和放料盘表面，存料盘和放料盘底部分别设有存料盘与放料盘转动的电动机，直线导轨上安装有两个导轨座，每个导轨座上均安装有机械臂，机械臂的伸出端安装有用于吸起外延片的吸盘组件，两个吸盘组件之间的间距与旋转台到存料盘或放料盘的间距相等，所述放置腔内壁上可伸缩地安装有对外延片进行检测的检测机构，所述放置腔的内壁上加工有空槽，空槽内安装有伸缩气缸，伸缩气缸的伸出端安装有检测机构，所述检测机构包括安装板、夹持件、电机、旋转辊筒、聚光灯和光感摄像机，所述安装板竖直安装在伸缩气缸的伸出端，安装板靠近旋转台的侧壁上竖直安装有与旋转台表面等高的夹持件，夹持件内壁表面安装有两个可转动的旋转辊筒，夹持件内侧安装有电机，电机的输出轴上安装有相互啮合的齿轮组，两个旋转辊筒通过软轴与对应的齿轮组连接，所述夹持件一侧的上侧壁和下侧壁上均安装倾斜的聚光灯，聚光灯的光照方向朝向外延片表面和底面，聚光灯上安装有连接板，连接板上安装有拍摄聚光灯反光的光感摄像机，夹持件另一侧的上侧壁和下侧壁上均安装有微距测量仪。

2.根据权利要求1所述的单晶硅外延片检测用集成系统，其特征在于：所述旋转辊筒表面套装有硅胶减震套。

3.根据权利要求1所述的单晶硅外延片检测用集成系统，其特征在于：所述聚光灯包括外壳和安装在外壳内的灯管，所述外壳由一体成型的聚光部和出光部构成，聚光部呈圆筒状，聚光部的外壁上加工有出光部，出光部的截面呈锥形，出光部的内壁与聚光部的内壁平滑过渡，出光部的端部加工有一条通槽。

4.根据权利要求1所述的单晶硅外延片检测用集成系统，其特征在于：所述旋转台包括支撑法兰、直线轴承和限位轴，所述限位轴固定在放置腔中部，支撑法兰通过直线轴承可转动地安装在限位轴上，限位轴中部安装有检测外延片温度的红外温度传感器，所述支撑法兰表面安装有一侧海绵缓冲垫。