[发明专利]一种用于室温下硫化氢气体检测传感器

权利要求书

1.一种用于室温下硫化氢气体检测传感器。包括还原氧化石墨烯纳米片1，铜掺杂氧化锌纳米棒2，Au(50nm)/Ti(5nm)薄膜3，玻璃基底4。

2.根据权利要求1所述的一种用于室温下硫化氢气体检测传感器，其特征在于：所述还原氧化石墨烯纳米片1通过喷涂分散在去离子水和乙醇中，然后沉积到未掺杂和掺杂Cu的ZnO纳米结构上。

3.根据权利要求1所述的一种用于室温下硫化氢气体检测传感器，其特征在于：所述Au(50nm)/Ti(5nm)薄膜3采用射频磁控溅射法在玻璃基片表面沉积而成。

4.根据权利要求1所述的一种用于室温下硫化氢气体检测传感器，其特征在于：所述Au(50nm)/Ti(5nm)薄膜3表面的ZnO薄膜种子层通过水热合成。

5.根据权利要求1所述的一种用于室温下硫化氢气体检测传感器，其特征在于：所述水热反应溶液通过在聚四氟乙烯容器中混合25mM硝酸锌和25mM HMT水溶液(pH1/47)来制备。

6.根据权利要求1所述的一种用于室温下硫化氢气体检测传感器，其特征在于：所述ZnO薄膜呈现出纳米棒状的表面形貌。

7.根据权利要求1所述的一种用于室温下硫化氢气体检测传感器，其特征在于：所述ZnO和RG纳米结构中掺杂Cu，提供了更多的活性中心，增加了化学吸附。

8.根据权利要求1所述的一种用于室温下硫化氢气体检测传感器，其特征在于：所述两种纳米结构薄膜均呈现六方纤锌矿结构，具有多晶性质。

9.根据权利要求1所述的一种用于室温下硫化氢气体检测传感器，其特征在于：所述纳米颗粒ZnO和Cu掺杂ZnO沉积物均匀分散在整个种子层涂层玻璃基板上。

10.根据权利要求1所述的一种用于室温下硫化氢气体检测传感器，所述传感器表面暴露于H₂S气体中时，H₂S分子被吸附在纳米复合传感器的表面上，预吸附的氧物种与H₂S之间的相互作用释放出自由电子。

11.根据权利要求1所述的一种用于室温下硫化氢气体检测传感器，所述传感器中Cu掺杂ZnO/RGO纳米复合材料的还原气敏机理主要受比表面积、表面缺陷和异质结形成等因素的影响。

12.根据权利要求1所述的一种用于室温下硫化氢气体检测传感器，所述传感器中RGO纳米片的附着不仅降低了传感器的总电阻，而且增加了氧的总吸附位点。

13.根据权利要求1所述的一种用于室温下硫化氢气体检测传感器，所述传感器具有良好的长期稳定性。