[发明专利]一种多阳离子苯并咪唑缓蚀剂及其制备方法有效
| 申请号： | 202110059130.2 | 申请日： | 2021-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN112876459B | 公开（公告）日： | 2022-04-01 |
| 发明（设计）人： | 李艳艳 | 申请（专利权）人： | 天津市科达斯实业有限公司 |
| 主分类号： | C07D403/14 | 分类号： | C07D403/14;C23F11/14 |
| 代理公司： | 北京卓岚智财知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11624 | 代理人： | 武丹聘 |
| 地址： | 300383 天津市西青区王*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 阳离子 苯并咪唑 缓蚀剂 及其 制备 方法 | ||
1.一种多阳离子苯并咪唑缓蚀剂，其特征在于，所述多阳离子苯并咪唑缓蚀剂具有式(I)分子结构：
式中，R为C1～C12的烷基直链，X为Br或I或OH。
2.一种多阳离子苯并咪唑缓蚀剂的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：4,4’,4”-三甲酸三苯胺与N1-(嘧啶-2-基)乙二胺进行酰化、环化反应制备三(4-(1-(嘧啶-2-基)咪唑-2-基)苯基)胺 (tMdMz-A)，再经季铵化反应，制得多阳离子苯并咪唑缓蚀剂。
3.根据权利要求2所述的一种多阳离子苯并咪唑缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述4,4’,4”-三甲酸三苯胺与N1-(嘧啶-2-基)乙二胺在溶剂环境下反应，所述溶剂为二甲苯，或二甲苯和N-甲基吡咯烷酮的混合溶剂。
4.根据权利要求2所述的一种多阳离子苯并咪唑缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述4,4’,4”-三甲酸三苯胺与N1-(嘧啶-2-基)乙二胺在140～170℃氮气环境下进行酰化反应。
5.根据权利要求2所述的一种多阳离子苯并咪唑缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述环化反应在200～220℃氮气环境下反应6～12h。
6.根据权利要求2所述的一种多阳离子苯并咪唑缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述4,4’,4”-三甲酸三苯胺与N1-(嘧啶-2-基)乙二胺酰化的投料摩尔比为1:3～4。
7.根据权利要求2所述的一种多阳离子苯并咪唑缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述季铵化反应为tMdMz-A与卤代烷烃反应。
8.根据权利要求7所述的一种多阳离子苯并咪唑缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述卤代烷烃为碘代烷或溴代烷。
9.根据权利要求7或8所述的一种多阳离子苯并咪唑缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述卤代烷烃为碳原子为1～12的烷基直链。
10.根据权利要求7所述的一种多阳离子苯并咪唑缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述tMdMz-A与卤代烷烃的投料摩尔比为1：3～5。
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