[发明专利]气体流量调节装置和半导体加工设备

权利要求书

1.一种气体流量调节装置，应用于半导体加工设备，其特征在于，所述气体流量调节装置包括：

底座结构，在所述底座结构中设置有气体通道；

活塞部件，可移动地设置在所述底座结构中，用以通过在指定方向上移动来调节所述气体通道的通气截面面积；

旋转驱动源，用于提供旋转动力，且所述旋转驱动源的驱动轴包括位于所述旋转驱动源外部的连接部分；以及

传动结构，包括旋转件、移动件和限位组件，其中，所述旋转件与所述驱动轴的所述连接部分连接，且与所述移动件螺纹连接，所述限位组件与所述移动件连接，用以在所述旋转件随所述驱动轴旋转时，限制所述移动件旋转，以使所述移动件能够相对于所述旋转件沿所述指定方向移动；所述移动件与所述活塞部件连接。

2.根据权利要求1所述的气体流量调节装置，其特征在于，所述限位组件包括一个或多个限位单元，且多个所述限位单元沿所述移动件的圆周方向间隔设置；每个所述限位单元包括：

限位件，与所述底座结构连接，且在所述限位件上设置有滑轨，所述滑轨沿所述指定方向延伸设置；以及

滑动件，与所述滑轨滑动连接，且与所述移动件固定连接。

3.根据权利要求2所述的气体流量调节装置，其特征在于，在所述限位件上设置有凹槽，用作所述滑轨；所述滑动件可移动地设置在所述凹槽中。

4.根据权利要求1所述的气体流量调节装置，其特征在于，所述旋转驱动源包括步进电机。

5.根据权利要求1所述的气体流量调节装置，其特征在于，所述传动结构还包括第一连接组件，所述第一连接组件包括联轴套、至少一个紧定螺钉和定位销，其中，所述联轴套同轴套设在所述旋转件和所述驱动轴的所述连接部分上，且在所述联轴套中沿其径向贯通设置有至少一个径向螺纹孔，各个所述紧定螺钉一一对应地设置在各个所述径向螺纹孔中，且与所述驱动轴的所述连接部分的外周壁相抵；

在所述联轴套和所述旋转件中沿所述联轴套的径向对应地贯通设置有定位孔，所述定位销穿设于所述联轴套和所述旋转件中的所述定位孔中。

6.根据权利要求1所述的气体流量调节装置，其特征在于，所述传动结构还包括第二连接组件，所述第二连接组件包括第一连接件、第二连接件和弹性件，其中，

所述第一连接件的一端与所述移动件螺纹连接，所述第一连接件的另一端与所述第二连接件的一端螺纹连接；

所述弹性件的两端分别与所述第二连接件的另一端和所述活塞部件连接。

7.根据权利要求6所述的气体流量调节装置，其特征在于，所述旋转件包括具有第一外螺纹的第一柱体；所述移动件包括具有第一螺纹孔的第二柱体；所述第一连接件包括具有第二外螺纹的第三柱体；所述第二连接件包括具有第二螺纹孔的第四柱体，其中，

所述第一柱体和所述第二柱体通过所述第一外螺纹与所述第一螺纹孔相配合来实现螺纹连接；

所述第二柱体和所述第三柱体通过所述第一螺纹孔与所述第二外螺纹相配合来实现螺纹连接；

所述第三柱体和所述第四柱体通过所述第二外螺纹与所述第二螺纹孔相配合来实现螺纹连接。

8.根据权利要求7所述的气体流量调节装置，其特征在于，在所述第三柱体上套设有第一螺母和第二螺母，其中，所述第一螺母预紧在所述第二柱体的靠近所述第三柱体的端面上；所述第二螺母预紧在所述第四柱体的靠近所述第三柱体的端面上。

9.根据权利要求1所述的气体流量调节装置，其特征在于，所述气体流量调节装置还包括行程限位结构，所述行程限位结构用于限定所述移动件在所述指定方向上的移动范围。