[发明专利]一种阴极制备自动装置显控系统

说明书

本发明专利为一种阴极制备自动装置显控系统，由工控机和PLC组成，显控装置上包括机械泵、分子泵、离子泵、钛升华泵、各种电动阀门、阴极、阳极、阴极升降机构、数字式位移传感器、数字式真空度传感器、数字式温度传感器；“加工温度设定”、“加工间距设定”和“加工时间设定”的数值输入框。具有阴极制备自动装置完善的监控功能，其操作简便、功能齐全、性能可靠。

技术领域

本专利涉及阴极制备，尤其涉及一种阴极制备自动装置显控系统。

背景技术

本阴极制备自动装置是在包括阴极和阳极一个罐中形成真空，罐中的温度可通过加热器件进行设置。

作为一种自动装置，自动装置的显示和控制系统尤其重要。自动装置的显控系统需要正确地反映出各个设备机械泵、分子泵、离子泵、钛升华泵、电动前级阀、电动高真空阀、电动旁路阀、电动放气阀、电动离子泵阀、电动钛升华泵阀、阴极、阳极、阴极升降机构运行的状况和相关参数位移、真空度、温度的数值显示，并能够记录历史数据。可以通过历史数据查看以往阴极制备过程中的各个数据。

自动装置所使用的显示系统应该能够直观明了，操作方便，功能齐全，如何能够很好地实现上述功能，是当前急需解决的问题。

发明内容

为了实现对阴极制备的整个过程进行自动化控制和严密的监视，本发明专利充分利用工控机的特点，提供一种阴极制备自动装置显控系统，实现对阴极制备的整个过程进行操作、监控和记录的目的。

本发明一种阴极制备自动装置显控系统采用的技术方案是：显控系统由工控机和PLC组成，工控机和PLC相联接，通过PLC控制并读取相关的参数，工控机显示器显示结果。

显控系统上还包括：机械泵(1)、分子泵(2)、离子泵(16)、钛升华泵(17)、电动前级阀(3)、电动高真空阀(4)、电动旁路阀(5)、电动放气阀(6)、电动离子泵阀(15)、电动钛升华泵阀(18)、阴极(11)、阳极(12)、阴极升降机构(9)、数字式位移传感器

(10)、数字式真空度传感器(13)、数字式温度传感器(14)；

显控系统上显示自动装置上工作的各个泵、各个阀、阴极、阳极、阴极升降机构、数字式位移传感器、数字式真空度传感器、数字式温度传感器；

显控系统上还包括：机械泵(1)、分子泵(2)、离子泵(16)、钛升华泵(17)和阴极升降机构(9)停止时显示为一种颜色，运行时显示为另一种颜色；

电动前级阀(3)、电动高真空阀(4)、电动旁路阀(5)、电动放气阀(6)、电动离子泵阀(15)和电动钛升华泵阀(18)关闭时显示为一种颜色，打开时显示为另一种颜色；

显控系统上通过不同的颜色表示各个泵、阴极升降机构是处于停止还是运行状况，各个阀是处于关闭还是打开状况。

显控系统上还包括：“加工温度设定”、“加工间距设定”和“加工时间设定”的数值输入框；

可以根据阴极制备的工艺需要来设定加工温度、加工间距和加工时间。

显控系统上还包括：“开”按键、“开”按键和“历史数据查询”按键，“历史数据查询”界面中包括加工温度、加工间距和真空度随时间变化的曲线。

按下“开”按键，整个系统按设定的制备过程进行自动运行，按下“开”按键，整个系统按设定的制备过程自动关闭。按下“历史数据查询”按键，进入到“历史数据查询”界面中，此界面中记录加工温度、加工间距和真空度随时间变化的曲线，供需要时查看。

本发明的有益效果是：一种阴极制备自动装置显控系统，通过显控系统实现对阴极制备进行自动加工和数值监控，实时观察到自动装置的各个泵、各个阀和阴极升降机构的运行状况，实时观察和记录加工温度、加工间距、真空度的数值。具有对阴极制备装置完善的监控和保护功能，其操作简便、功能齐全、性能可靠。