[发明专利]一种太阳能电池及其制作方法

权利要求书

1.一种太阳能电池，其特征在于，包括

Ge衬底(1)；

图形化背电极，所述图形化背电极设置于所述Ge衬底(1)一侧表面；

外延层(2)，所述外延层设置于所述Ge衬底(1)远离所述图形化背电极的一侧表面；

负电极(9)，所述负电极设置于所述外延层(2)表面；

减反膜(10)，所述减反膜覆盖于所述负电极(9)表面；

所述图形化背电极包括设置于所述Ge衬底(1)表面的厚度一致的第一金属层(7)，和设置于所述第一金属层(7)表面网格状的第二金属层(8)；

所述第二金属层(8)的设置方法为：蒸镀过程中，在所述第一金属层(7)和蒸镀机之间，设置网状隔板(4)；

所述网状隔板与金属杆(5)的一端连接，所述金属杆(5)的另一端，与气缸(6)连接。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池，其特征在于，所述第一金属层(7)，厚度为10nm～500nm。

3.根据权利要求1所述的太阳能电池，其特征在于，所述第一金属层(7)，材质为金、钯、铂、钛中的至少一种。

4.根据权利要求1所述的太阳能电池，其特征在于，所述第二金属层(8)，厚度为1000nm～7000nm。

5.根据权利要求1所述的太阳能电池，其特征在于，所述第二金属层(8)，材质为金、钯、铂、钛、银中的至少一种。

6.根据权利要求1～5任一项所述的太阳能电池，其特征在于，所述外延层(2)，包括沿所述Ge衬底(1)远离所述图形化背电极一侧表面，依次生长的成核层(201)、缓冲层(202)、中底电池隧穿结(203)、中电池(204)、中顶电池隧穿结(205)、顶电池(206)、窗口层(207)和帽子层(208)。

7.一种如权利要求1～6任一项所述的太阳能电池的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1.在所述Ge衬底(1)表面生长所述外延层(2)；

S2.在所述Ge衬底(1)远离所述外延层一侧表面蒸镀设置所述第一金属层(7)；

S3.在所述第一金属层(7)表面，蒸镀设置所述第二金属层(8)；

S4.在所述外延层(2)表面，制作所述负电极(9)；

S5.在所述负电极(9)表面，制作所述减反膜(10)。

8.根据权利要求7所述的制作方法，其特征在于，步骤S1中，包括在所述Ge衬底(1)表面依次生长成核层(201)、缓冲层(202)、中底电池隧穿结(203)、中电池(204)、中顶电池隧穿结(205)、顶电池(206)、窗口层(207)和帽子层(208)，形成所述外延层(2)。