[发明专利]一种微波等离子体产生装置

权利要求书

1.一种微波等离子体产生装置，其特征在于：包括等离子体炬(1)；所述等离子体炬(1)包括外壳(2)；所述外壳(2)内设有圆柱状腔(3)；所述圆柱状腔(3)内设有反应管(4)；所述外壳(2)上设有进气口(5)和出气口(6)；所述进气口(5)和出气口(6)通过反应管(4)连通；所述外壳(2)上设有馈口(7)；所述馈口(7)连通圆柱状腔(3)。

2.根据权利要求1所述的一种微波等离子体产生装置，其特征在于：所述圆柱状腔(3)中部设有输入腔(8)；所述输入腔(8)为圆柱状；所述反应管(4)、圆柱状腔(3)、输入腔(8)同轴设置；所述输入腔(8)的横截面尺寸大于圆柱状腔(3)的横截面尺寸；所述馈口(7)设置在输入腔(8)的侧壁上，且馈口(7)正对反应管(4)。

3.根据权利要求1或2所述的一种微波等离子体产生装置，其特征在于：所述反应管(4)外螺旋缠绕有散热管(9)；所述外壳(2)上设有换热进口(10)和换热出口(11)；所述换热进口(10)和换热出口(11)通过散热管(9)连通。

4.根据权利要求3所述的一种微波等离子体产生装置，其特征在于：所述散热管(9)的数量至少为两根。

5.根据权利要求4所述的一种微波等离子体产生装置，其特征在于：所述等离子体炬(1)还包括进口分流件(12)和出口集流件(13)；所述换热进口(10)通过进口分流件(12)分别连通所有散热管(9)的进端；所有散热管(9)的出端通过出口集流件(13)共同连通换热出口(11)。

6.根据权利要求5所述的一种微波等离子体产生装置，其特征在于：所述进口分流件(12)和出口集流件(13)均为环状，外套在反应管(4)上；所述进口分流件(12)和出口集流件(13)内均设有流道。

7.根据权利要求6所述的一种微波等离子体产生装置，其特征在于：还包括自动点火器；所述自动点火器安装在外壳(2)上；所述外壳(2)内设有点火通道；所述自动点火器的点火针伸入点火通道；所述点火通道和进气口(5)连通。

8.根据权利要求1～2、4～7任一权利要求所述的一种微波等离子体产生装置，其特征在于：还包括微波源(14)和微波传输线；所述微波源(14)通过微波传输线向馈口(7)输入微波；所述微波传输线上设有环形器(15)、微波自动调配装置(16)和矩形波导(17)；所述环形器(15)的第一口连接微波源(14)；所述环形器(15)的第二口连接有水负载(18)；所述环形器(15)的第三口连接有微波自动调配装置(16)；所述微波自动调配装置(16)通过矩形波导(17)与馈口(7)连接。

9.根据权利要求8所述的一种微波等离子体产生装置，其特征在于：所述微波自动调配装置(16)包括自动三销钉适配器；所述自动三销钉适配器包括波导(19)；所述波导(19)上设有三个销钉调配装置；所述销钉调配装置包括销钉臂(20)、销钉(21)、驱动电机(22)、螺母(23)和螺杆(24)；所述销钉臂(20)设置在波导(19)的宽边上；所述销钉臂(20)内设有销钉通道(25)；所述销钉通道(25)用于销钉(21)上下移动的导向以改变销钉(21)插入波导(19)内的深度；所述销钉臂(20)内设有用于螺母(23)上下导向的螺母移动通道(26)；所述螺母移动通道(26)位于销钉通道(25)的上方；所述螺母(23)固定在销钉(21)的顶部；所述螺杆(24)通过螺纹和销钉(21)连接；所述驱动电机(22)用于驱动螺杆(24)转动，使销钉(21)上下移动。

10.根据权利要求9所述的一种微波等离子体产生装置，其特征在于：所述微波自动调配装置(16)还包括复反射系数测量设备；所述复反射系数测量设备包括双定向耦合器(27)、正交混频器(28)、放大器(29)和信号处理单元(30)；所述双定向耦合器(27)包括波导段(31)、第一定向耦合器(32)和第二定向耦合器(33)；所述波导段(31)设在微波传输线上；所述波导段(31)上设有第一定向耦合器(32)和第二定向耦合器(33)；所述第一定向耦合器(32)的耦合端和第二定向耦合器(33)的耦合端分别和正交混频器(28)电连接；所述正交混频器(28)和放大器(29)电连接；所述放大器(29)和信号处理单元(30)电连接；所述驱动电机(22)和信号处理单元(30)电连接。