[发明专利]蒸发舟

说明书

本发明公开了一种蒸发舟。蒸发舟(10)具有蒸发主体(12)，所述蒸发主体沿旋转轴(D)延伸并且具有围绕所述旋转轴(D)的旋转对称性，所述旋转对称性的指数计数至少为3。在这种情况下，所述蒸发主体(12)具有与所述旋转对称性的所述指数计数相对应的多个蒸发侧(21、22、23)。

技术领域

本发明涉及一种具有沿旋转轴延伸的蒸发主体的蒸发舟。

背景技术

众所周知，蒸发舟通常用于涂布衬底的设备中，其中蒸发舟设置在真空腔室中以提供金属蒸汽，所述金属蒸汽作为薄的均匀层沉积在衬底上。为了提供恒定的蒸汽流，使蒸发舟在直流电流中加热到这样的程度，即例如铝线之类的进料金属线在蒸发舟的蒸发侧液化，并且随后在真空腔室中存在的低气压下蒸发。在这种情况下，蒸发侧保持并加热待蒸发金属的熔融金属，直到熔融金属蒸发。

在蒸发舟与熔融金属直接接触的位置，蒸发舟会受到严重腐蚀，从而限制了蒸发舟的工具寿命。为了可靠地确保恒定的蒸汽流，通常需要在大约15个工作小时后更换蒸发舟。

发明内容

本发明的任务是提供一种具有较长的工具寿命并且针对节约材料而设计的蒸发舟。

所述任务通过提供一种蒸发舟来解决，所述蒸发舟具有蒸发主体，所述蒸发主体沿旋转轴纵向延伸并且具有围绕旋转轴的旋转对称性，所述旋转对称性的指数计数至少为3。在这种情况下，蒸发主体具有与旋转对称性的指数计数相对应的多个蒸发侧。出于本发明的目的，在这种情况下，蒸发侧是蒸发主体的一侧，提供所述侧以在使用蒸发舟时容纳和/或保持待蒸发金属的熔融金属。

这种设计允许在不同位置使用蒸发舟，其中将不同的蒸发侧分别用作主动蒸发侧以液化和保持待蒸发金属。因此，蒸发舟是可转位蒸发舟，通过使蒸发舟围绕其旋转轴旋转并使其进入对应位置，选择不同的蒸发侧作为主动蒸发侧。通过在不同位置操作蒸发舟，所述蒸发舟与现有技术的常规蒸发舟相比具有更长的总工具寿命。

旋转对称性确保旋转轴延伸穿过的蒸发主体的核心具有足够大的横截面和/或具有足够的质量，使得蒸发侧的腐蚀区不会像例如具有矩形横截面的常规蒸发主体的情况那样显著损害相应的其它蒸发侧，所述常规蒸发主体的蒸发侧的腐蚀区延伸到核心太深处，以至于通过使蒸发舟转位并使用相对侧作为蒸发侧，蒸发舟的工具寿命也不能显著延长。

蒸发主体的旋转对称性还有一个优点，即蒸发主体具有特别紧凑的结构，因此是节约材料的设计。

出于本发明的目的，旋转对称性尤其与蒸发主体的基本形状有关，使得对于蒸发舟，可以省略用于区分蒸发侧的标记或压印的零件编号，并且因此不会损害旋转对称性。

在一个实施例中，蒸发主体具有围绕旋转轴的旋转对称性，所述旋转对称性的指数计数为3、4、5或6，因为这可以实现工具寿命与蒸发舟的材料输入和制造工作量的特别良好的关系。

蒸发舟还可以具有围绕旋转轴的总旋转对称性，所述总旋转对称性的指数计数至少为3，具体地说是3、4、5或6，使得蒸发舟的制造可以在材料和成本方面特别有效。

类似于蒸发主体，出于本发明的目的，旋转对称性也与蒸发主体的基本形状有关，使得对于蒸发舟，可以为蒸发舟省略用于区分蒸发侧的标记或零件编号，并且因此不会损害旋转对称性。

在另一实施例中，每个蒸发侧包括接收器腔。出于本发明的目的，接收器腔是设计成当蒸发舟在使用时保持待蒸发金属的熔融金属的腔。

有利的是，蒸发舟在相对的轴向端处具有两个夹持端，其中蒸发主体沿着旋转轴在这些夹持端之间纵向延伸。使用夹持端，能将蒸发舟以限定的方式可靠地夹持在对应的工具保持器中，具体地说是在两个铜夹之间。

在这种情况下，夹持端不能相对于旋转轴径向延伸超出蒸发侧和/或其封闭端。在这种情况下，夹持端具有与蒸发主体不同的横截面几何形状，尤其是在蒸发主体的与相应夹持端邻接的轴向截面中。因此，夹持端可在材料方面具有有效设计。