[发明专利]差压式流量计

权利要求书

1.一种差压式流量计，其特征在于，包括：

使测量对象的流体流通的配管；

差压生成机构，其设置在所述配管内，使上游侧的所述流体和下游侧的所述流体之间产生差压；

第一绝对压力传感器，其构成为测量所述差压生成机构上游侧的所述流体的第一绝对压力；

第二绝对压力传感器，其构成为测量所述差压生成机构下游侧的所述流体的第二绝对压力；

温度传感器，其构成为测量所述第一绝对压力传感器、所述第二绝对压力传感器的周围温度；

压力计算部，其构成为基于由所述温度传感器测量的温度，对所述第一绝对压力传感器的输出信号进行校正而换算成所述第一绝对压力，并且基于由所述温度传感器测量的温度，对所述第二绝对压力传感器的输出信号进行校正而换算成所述第二绝对压力；以及

流量计算部，其构成为基于由所述压力计算部计算出的第一绝对压力、第二绝对压力来计算所述流体的流量，

承受所述第一绝对压力的所述第一绝对压力传感器的膜片、承受所述第二绝对压力的所述第二绝对压力传感器的膜片以及所述温度传感器被集成在一个传感器芯片上。

2.根据权利要求1所述的差压式流量计，其特征在于，

在所述传感器芯片的内部具有：

承受所述第一绝对压力的所述第一绝对压力传感器的膜片；

承受所述第二绝对压力的所述第二绝对压力传感器的膜片；

所述温度传感器；

向所述第一绝对压力传感器的膜片传递所述第一绝对压力的第一压力导入路径；以及

向所述第二绝对压力传感器的膜片传递所述第二绝对压力的第二压力导入路径。

3.一种差压式流量计，其特征在于，包括：

使测量对象的流体流通的配管；

差压生成机构，其设置在所述配管内，使上游侧的所述流体和下游侧的所述流体之间产生差压；

差压传感器，其构成为测量所述差压生成机构上游侧的所述流体的第一绝对压力与所述差压生成机构下游侧的所述流体的第二绝对压力的差压；

绝对压力传感器，其构成为测量所述第二绝对压力；

温度传感器，其构成为测量所述差压传感器和所述绝对压力传感器的周围温度；

压力计算部，其构成为基于由所述温度传感器测量的温度对所述差压传感器的输出信号进行校正而换算成差压，并且基于由所述温度传感器测量的温度对所述绝对压力传感器的输出信号进行校正而换算成第二绝对压力；以及

流量计算部，其构成为基于由所述压力计算部计算出的差压和第二绝对压力来计算所述流体的流量，

承受所述第一绝对压力和所述第二绝对压力的所述差压传感器的膜片、承受所述第二绝对压力的所述绝对压力传感器的膜片以及所述温度传感器被集成在一个传感器芯片上。

4.根据权利要求3所述的差压式流量计，其特征在于，

在所述传感器芯片的内部具有：

承受所述第一绝对压力和所述第二绝对压力的所述差压传感器的膜片；

承受所述第二绝对压力的所述绝对压力传感器的膜片；

所述温度传感器；

第一压力导入路径，其向所述差压传感器的膜片的第一面传递所述第一绝对压力；

第二压力导入路径，其向所述差压传感器的膜片的与所述第一面相反一侧的第二面传递所述第二绝对压力；以及

第三压力导入路径，其向所述绝对压力传感器的膜片传递所述第二绝对压力。