[发明专利]具有普适性的易失性动态随机存取存储器及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202110069280.1 申请日: 2021-01-19
公开(公告)号: CN112909164A 公开(公告)日: 2021-06-04
发明(设计)人: 刘举庆;蒋彤芬;刘正东;黄维 申请(专利权)人: 南京工业大学
主分类号: H01L45/00 分类号: H01L45/00
代理公司: 南京知识律师事务所 32207 代理人: 朱少华
地址: 210009 江*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 具有 普适性 易失性 动态 随机存取存储器 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种具有普适性的易失性动态随机存取存储器,其特征在于,所述存储器件包括:

a)衬底:所述的衬底为硅片、二氧化硅片、玻璃、石英片或聚合物;所述作为衬底的聚合物为聚乙烯吡咯烷酮,聚乙烯醇或聚二甲基硅氧烷;

b)底电极:所述的底电极为金属电极、金属氧化物电极或聚合物转移的银纳米线电极;所述用来转移银纳米线的聚合物为聚乙烯吡咯烷酮,聚乙烯醇或聚二甲基硅氧烷;

c)存储介质层:所述的存储介质层是绝缘聚合物或半导体聚合物;

d)顶电极:所述的顶电极是银纳米线导电薄膜。

2.根据权利要求1所述的一种具有普适性的易失性动态随机存取存储器,其特征在于:所述底电极的金属电极为金、银、铜或铝;金属氧化物电极为氧化铟锡;所述的聚合物转移的银纳米线电极为PVP-Ag NWs电极或PVA-Ag NWs电极或PDMS-Ag NWs电极。

3.根据权利要求1所述的一种具有普适性的易失性动态随机存取存储器,其特征在于:所述的存储介质层的绝缘聚合物为聚乙烯吡咯烷酮、聚苯乙烯、聚乙烯醇或聚甲基丙烯酸甲酯;所述的存储介质层的半导体聚合物为3-己基取代聚噻吩、聚9,9-二辛基芴、聚[2-甲氧基-5-(2-乙基甲氧基)-1,4-苯撑乙烯撑]或聚(3,4-乙烯二氧噻吩)-聚苯乙烯磺酸。

4.根据权利要求3所述的一种具有普适性的易失性动态随机存取存储器,其特征在于:所述的存储介质层的厚度为30nm-60nm。

5.根据权利要求1所述的一种具有普适性的易失性动态随机存取存储器制备方法,其特征在于:包括以下步骤:

(1)底电极的制备:用热蒸镀的方法在衬底上蒸镀金属电极或金属氧化物电极;或原位固化的方法在聚合物上转移的银纳米线电极;

(2)存储介质层的制备:将绝缘聚合物或半导体聚合物溶于溶剂后,旋涂于底电极上,烘干;

(3)顶电极的制备:采用加热喷涂的方法在存储介质层上形成银纳米线电极。

6.根据权利要求5所述制备方法,其特征在于:所述底电极的衬底为硅片、二氧化硅片、玻璃、石英片或聚合物;所述硅片、二氧化硅片、玻璃、石英片作为衬底在使用前需要预处理,将衬底依次置于去离子水、乙醇、异丙醇中,分别超声10-20min,氮气吹干。

7.根据权利要求5所述制备方法,其特征在于:所述的步骤(2)中绝缘聚合物或半导体聚合物的浓度为5mg/ml-50mg/ml;用量为200μl。

8.根据权利要求5所述制备方法,其特征在于:所述的步骤(2)中旋涂采用旋涂仪,转速为800rpm-4000rpm,旋涂时间为30s-60s。

9.根据权利要求5所述制备方法,其特征在于:所述的步骤(3)中顶电极材料是通过多元醇法合成的银纳米线,喷涂时基底加热的温度为50℃,喷枪距离器件的距离为4cm-8cm,用量为100μl-250μl。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京工业大学,未经南京工业大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202110069280.1/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top