[发明专利]具有普适性的易失性动态随机存取存储器及其制备方法在审
申请号: | 202110069280.1 | 申请日: | 2021-01-19 |
公开(公告)号: | CN112909164A | 公开(公告)日: | 2021-06-04 |
发明(设计)人: | 刘举庆;蒋彤芬;刘正东;黄维 | 申请(专利权)人: | 南京工业大学 |
主分类号: | H01L45/00 | 分类号: | H01L45/00 |
代理公司: | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人: | 朱少华 |
地址: | 210009 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 普适性 易失性 动态 随机存取存储器 及其 制备 方法 | ||
1.一种具有普适性的易失性动态随机存取存储器,其特征在于,所述存储器件包括:
a)衬底:所述的衬底为硅片、二氧化硅片、玻璃、石英片或聚合物;所述作为衬底的聚合物为聚乙烯吡咯烷酮,聚乙烯醇或聚二甲基硅氧烷;
b)底电极:所述的底电极为金属电极、金属氧化物电极或聚合物转移的银纳米线电极;所述用来转移银纳米线的聚合物为聚乙烯吡咯烷酮,聚乙烯醇或聚二甲基硅氧烷;
c)存储介质层:所述的存储介质层是绝缘聚合物或半导体聚合物;
d)顶电极:所述的顶电极是银纳米线导电薄膜。
2.根据权利要求1所述的一种具有普适性的易失性动态随机存取存储器,其特征在于:所述底电极的金属电极为金、银、铜或铝;金属氧化物电极为氧化铟锡;所述的聚合物转移的银纳米线电极为PVP-Ag NWs电极或PVA-Ag NWs电极或PDMS-Ag NWs电极。
3.根据权利要求1所述的一种具有普适性的易失性动态随机存取存储器,其特征在于:所述的存储介质层的绝缘聚合物为聚乙烯吡咯烷酮、聚苯乙烯、聚乙烯醇或聚甲基丙烯酸甲酯;所述的存储介质层的半导体聚合物为3-己基取代聚噻吩、聚9,9-二辛基芴、聚[2-甲氧基-5-(2-乙基甲氧基)-1,4-苯撑乙烯撑]或聚(3,4-乙烯二氧噻吩)-聚苯乙烯磺酸。
4.根据权利要求3所述的一种具有普适性的易失性动态随机存取存储器,其特征在于:所述的存储介质层的厚度为30nm-60nm。
5.根据权利要求1所述的一种具有普适性的易失性动态随机存取存储器制备方法,其特征在于:包括以下步骤:
(1)底电极的制备:用热蒸镀的方法在衬底上蒸镀金属电极或金属氧化物电极;或原位固化的方法在聚合物上转移的银纳米线电极;
(2)存储介质层的制备:将绝缘聚合物或半导体聚合物溶于溶剂后,旋涂于底电极上,烘干;
(3)顶电极的制备:采用加热喷涂的方法在存储介质层上形成银纳米线电极。
6.根据权利要求5所述制备方法,其特征在于:所述底电极的衬底为硅片、二氧化硅片、玻璃、石英片或聚合物;所述硅片、二氧化硅片、玻璃、石英片作为衬底在使用前需要预处理,将衬底依次置于去离子水、乙醇、异丙醇中,分别超声10-20min,氮气吹干。
7.根据权利要求5所述制备方法,其特征在于:所述的步骤(2)中绝缘聚合物或半导体聚合物的浓度为5mg/ml-50mg/ml;用量为200μl。
8.根据权利要求5所述制备方法,其特征在于:所述的步骤(2)中旋涂采用旋涂仪,转速为800rpm-4000rpm,旋涂时间为30s-60s。
9.根据权利要求5所述制备方法,其特征在于:所述的步骤(3)中顶电极材料是通过多元醇法合成的银纳米线,喷涂时基底加热的温度为50℃,喷枪距离器件的距离为4cm-8cm,用量为100μl-250μl。
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