[发明专利]一种多孔光学元件通道孔轴向垂直对准装置及方法

说明书

本发明公开了一种多孔光学元件通道孔轴向垂直对准装置及方法，由承载平台、底座、支撑座、支撑杆、连接杆、激光灯及多孔光学元件组成；承载平台的中心有一个呈凹陷状的下沉圆形台阶，底座放入该下沉圆形台阶内；底座的顶部设置有大台面，在大台面的上面设置有一个圆形的小台面，小台面上设置有一个用于摆放支撑座的圆形通孔；支撑座呈圆环形，其中间区域为通孔；其外圆侧设有台阶，使用时该台阶与底座的圆形通孔配合定位；支撑座内摆放多孔光学元件；在承载平台的顶部设置支撑杆，支撑杆的顶端横置有连接杆，连接杆的另一头安装有激光灯。本发明在把多孔光学元件的通道孔轴向统一调整为垂直于蒸发源后，镀制的输入氧化物膜一致性更好、更均匀。

技术领域

本发明涉及一种将多孔光学元件镀膜前的通道孔径在垂直方向对准镀膜设备蒸发源的 装置及方法，尤其是一种多孔光学元件通道孔轴向垂直对准装置及方法，属于多孔光学元件 技术领域。

背景技术

以微光像增强器为代表的真空光电子器件在社会发展及国民经济的各行业中有着广泛 的应用，在国际国内受到普遍的重视。

微光像增强器主要由光电阴极输入窗、多碱光电阴极、多孔光学元件、荧光屏、阳极输 出窗及高压电源等零部件组成。其工作原理是：在夜间低照度环境下，将人眼不能看见的来 自目标的微弱光线聚集在像增强器的光电阴极上，通过多碱光电阴极把光学图像转换成相应 的电子图像，电子图像经多孔光学元件(电子倍增器)放大、增强，再经阳极高压加速，轰 击荧光屏转换成亮度足够的光学图像，最后经过阳极输出窗输出。

多孔光学元件是一种大面阵的通道电子倍增器，由无数根空芯通道所组成。多孔光学元 件的通道孔轴向与元件柱面存在一定的斜切角。多孔光学元件由通道孔及通道壁组成。如果 一个多孔光学元件的开口面积比为65％，即从几何角度考虑，多孔光学元件的通道孔面积为 65％，通道壁面积为35％。

多孔光学元件的输入面及输出面均镀制有一层具有良好导电性和粘附性的镍-铬合金电 极。镍-铬合金电极采用真空蒸发的工艺进行镀制。在多孔光学元件的输入面及输出面上镀 制电极时，其通道壁和通道孔口上都会镀上电极。

由于多孔光学元件的通道孔轴向与元件柱面存在一定的斜切角，如果在镀膜前没有把多 孔光学元件的通道孔轴向统一调整为垂直于蒸发源时，镀制后就会出现输入氧化物膜与输出 金属膜覆盖输入及输出电极深度不一致的情况。该情况会造成像增强器信噪比及分辨力较 低。

发明内容

为了克服上述问题，本发明的一个目的是提供一种多孔光学元件通道孔轴向垂直对准装 置，该装置能够帮助实现在镀膜前把多孔光学元件的通道孔轴向统一调整为垂直于蒸发源； 本发明的另一个目的是提供一种多孔光学元件通道孔轴向垂直对准方法，利用本发明的装置 实现多孔光学元件的通道孔轴向统一调整为垂直于蒸发源。

本发明的根本目的是解决当前多孔光学元件镀膜时输入氧化物膜与输出金属膜覆盖输 入及输出电极深度不一致的问题，提供一种多孔光学元件通道孔轴向垂直对准装置及方法， 提高像增强器的信噪比和分辨力。

本发明的主要技术方案是：