[发明专利]真空样品驱动装置

权利要求书

1.一种真空样品驱动装置，其特征在于，包括设置于真空腔室内并和样品承载台相连接的第一磁性部件；设置于所述真空腔室外的第二磁性部件；所述第二磁性部件和所述第一磁性部件之间通过磁场力相互磁耦合，且所述第一磁性部件和所述第二磁性部件之间的真空腔室的腔壁为一体结构；

其中，所述第二磁性部件为对所述第一磁性部件施加的磁场力可调的磁性件；

当所述第一磁性部件受所述第二磁性部件的磁场力变化时，所述第一磁性部件受变化的磁场力驱动带动所述样品承载台移动，以驱动所述样品承载台上的样品移动到设定位置；

所述第一磁性部件还连接有卡位部件，用于将所述第一磁性部件的可移动位置点限制在至少两个固定位置点；

所述卡位部件包括均具有凹凸结构的第一卡位部件和第二卡位部件，所述第一卡位部件和所述第二卡位部件的凹凸结构可相互配合卡接；所述第一卡位部件和所述第一磁性部件固定连接；

当所述第一磁性部件受所述第二磁性部件的磁场力变化时，所述第一卡位部件的凹凸结构和所述第二卡位部件的凹凸结构的两个表面相互贴合的相对移动。

2.如权利要求1所述的真空样品驱动装置，其特征在于，所述第二磁性部件包括至少两组绕组线圈；当所述绕组线圈中的通电电流发生变化，各组所述绕组线圈的叠加磁场力发生变化。

3.如权利要求1所述的真空样品驱动装置，其特征在于，所述第二磁性部件连接有驱动部件，用于驱动所述第二磁性部件相对于所述第一磁性部件运动，以改变所述第二磁性部件对所述第一磁性部件的磁场力。

4.如权利要求1所述的真空样品驱动装置，其特征在于，还包括和所述第一磁性部件相连接的齿轮部件，和所述样品承载台固定连接的齿条部件；所述齿轮部件和所述齿条部件相互咬合；

所述第一磁性部件和所述齿轮部件相连接，当所述第一磁性部件受所述第二磁性部件的磁场力方向变化时，所述第一磁性部件带动所述齿轮部件旋转。

5.如权利要求4所述的真空样品驱动装置，其特征在于，所述第二磁性部件包括至少两个磁铁，所述第二磁性部件和驱动部件相连接；所述驱动部件用于驱动各个所述磁铁在相同圆心相同半径的圆形轨迹上旋转运动；所述第一磁性部件位于所述圆心上。

6.如权利要求5所述的真空样品驱动装置，其特征在于，所述真空腔室包括具有向所述真空腔室凸起的外凸腔壁，各个所述磁铁环绕所述外凸腔壁设置，所述第一磁性部件设置在所述外凸腔壁内。

7.如权利要求1至6任一项所述的真空样品驱动装置，其特征在于，所述真空腔室为钢化玻璃腔室。

8.如权利要求7所述的真空样品驱动装置，其特征在于，所述真空腔室的腔壁上沿所述第一磁性部件运动方向设置刻度尺。