[发明专利]用于真空腔均热板铜片的定位装置

权利要求书

1.一种用于真空腔均热板铜片的定位装置，其特征在于，包括：定位装置基板、铜片预定位块、铜片载具组件和直线驱动组件；所述铜片预定位块上设有定位凹槽，所述定位凹槽的形状和铜片相适配，所述定位凹槽的深度大于所述铜片的厚度；所述直线驱动组件驱动所述铜片载具组件在所述定位装置基板上直线滑动。

2.如权利要求1所述的用于真空腔均热板铜片的定位装置，其特征在于，所述铜片载具组件包括铜片载具组件基板、升降部件和铜片载具；所述升降部件固定在所述铜片载具组件基板上，所述升降部件驱动所述铜片载具升降运动。

3.如权利要求2所述的用于真空腔均热板铜片的定位装置，其特征在于，所述铜片载具表面还设有多个真空吸附孔；所述真空吸附孔内设有真空吸管；所述真空吸管与真空泵相连。

4.如权利要求2所述的用于真空腔均热板铜片的定位装置，其特征在于，所述铜片载具组件通过滑动组件和所述定位装置基板滑动配合；所述滑动组件包括第一滑轨和第二滑轨；所述第一滑轨固定在所述定位装置基板的一侧，所述第二滑轨固定在所述定位装置基板的另一侧，所述第一滑轨和所述第二滑轨互相平行；所述铜片载具组件基板的一端固定第一滑块，所述第一滑块和所述第一滑轨滑动配合，所述铜片载具组件基板的另一端固定第二滑块，所述第二滑块和所述第二滑轨滑动配合。

5.如权利要求2所述的用于真空腔均热板铜片的定位装置，其特征在于，所述直线驱动组件包括丝杆、丝杆螺母座、固定在所述定位装置基板上的铜片定位伺服电机和固定在所述定位装置基板上的第一丝杆支撑座；所述丝杆螺母座与所述丝杆螺纹配合；所述丝杆被所述铜片定位伺服电机旋转驱动；所述第一丝杆支撑座支撑所述丝杆；所述铜片载具组件基板与所述丝杆螺母座固定连接。

6.如权利要求5所述的用于真空腔均热板铜片的定位装置，其特征在于，所述直线驱动组件还包括固定在所述定位装置基板上的第二丝杆支撑座，所述第二丝杆支撑座支撑所述丝杆；所述第一丝杆支撑座和所述第二丝杆支撑座分别位于所述丝杆螺母座两侧。

7.如权利要求5所述的用于真空腔均热板铜片的定位装置，其特征在于，所述直线驱动组件还包括与所述丝杆连接的编码器，所述编码器是非接触式编码器。

8.如权利要求2所述的用于真空腔均热板铜片的定位装置，其特征在于，所述升降部件包括六个铜片定位升降气缸，所述铜片定位升降气缸分成两排，每排铜片定位升降气缸的数量为三个。

9.如权利要求1所述的用于真空腔均热板铜片的定位装置，其特征在于，所述铜片预定位块上的定位凹槽的数量为两个，两个所述定位凹槽中心对称分布；所述铜片预定位块的数量为两个，两个所述铜片预定位块关于所述定位装置基板对称分布。

10.如权利要求1所述的用于真空腔均热板铜片的定位装置，其特征在于，所述铜片预定位块底部设有两个预定位块支撑腿，两个所述预定位块支撑腿关于所述铜片预定位块对称分布。