[发明专利]MEMS电容式加速度计芯片的性能自动测试方法在审
| 申请号： | 202110073505.0 | 申请日： | 2021-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN112881892A | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 沈烽;徐好;任杨波 | 申请（专利权）人： | 中国计量大学 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R1/04;G01P15/125 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | mems 电容 加速度计 芯片 性能 自动 测试 方法 | ||
1.一种适用于MEMS电容式加速度计芯片的自动化性能测试系统，主要包括MEMS加速度计芯片测试夹具(1)、ARM控制板(2)、PC上位机控制系统(3)、电机系统(4)、高精度LCR测试仪(5)，其特征在于：MEMS加速度计芯片测试夹具(I)与ARM控制板(2)通过4个探针触点(102)相连，ARM控制板(2)与高精度LCR测试仪(5)通过4线50欧姆测试线(501)相连，PC上位机控制系统(3)对整个系统进行控制、测试、数据分析，实现加速度计芯片的自动化测试。
2.根据权利要求1所述的适用于MEMS电容式加速度计芯片的自动化测试系统，其特征在于：所述MEMS加速度计芯片测试夹具(1)是由铝合金外壳(101)、和Ni/Au(镍/金)探针(102)组合而成。
3.根据权利要求1所述的适用于MEMS加速度计芯片的自动化性能测试系统，其特征在于：所述ARM控制板(2)主要组成是由夹具检测电路(201)、通道切换电路(202)、MCU控制电路(203)、温度检测、运行检测电路(204)、4线50欧姆测试接口(205)、USB通信接口(206)组成。
4.根据权利要求1所述的适用于MEMS加速度计芯片的自动化性能测试系统，其特征在于：所述PC上位机控制系统(3)是由Labview软件编写而成，通过USB控制ARM控制板(2)和高精度LCR测试仪(5)、通过RS232(401)控制电机系统(4)。
5.根据权利要求1所述的适用于MEMS加速度计芯片的自动化性能测试系统，其特征在于：步进电机系统(4)控制控制装置的偏转角度。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国计量大学，未经中国计量大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202110073505.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
