[发明专利]一种多角度低反射红外截止滤光膜的设计方法在审
申请号: | 202110073584.5 | 申请日: | 2021-01-20 |
公开(公告)号: | CN112925054A | 公开(公告)日: | 2021-06-08 |
发明(设计)人: | 增田清志;增田博志;孟庆宣 | 申请(专利权)人: | 苏州京浜光电科技股份有限公司 |
主分类号: | G02B5/20 | 分类号: | G02B5/20;C23C14/24;C23C14/10;C23C14/08 |
代理公司: | 苏州圆融专利代理事务所(普通合伙) 32417 | 代理人: | 郭珊珊 |
地址: | 215501 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 角度 反射 红外 截止 滤光 设计 方法 | ||
本发明公开了一种多角度低反射红外截止滤光膜的设计方法,包括以下步骤:基底材料的选择;制备高低折射率材料的单层膜;将倒置的膜堆参数导入光学设计软件,调节关键膜层厚度,输入优化条件后,进行多角度低反射红外截止滤光膜优化设计;基底材料的一面先蒸镀粘结层,然后以不同条件交替蒸镀氧化硅层和氧化钛层。本发明,通过2个标准膜堆进行堆叠设计,采用厚膜堆在前,薄膜堆在后,并将靠近基底的前两层高低折射率材料的膜层厚度设置为约1/4光学厚度的薄层,同时在最后添加4层薄层作为干涉层,然后通过软件进一步优化,最终设计0度和30度可见光波段反射显著降低,反射设计余量充足,生产良率高。
技术领域
本发明涉及滤光膜技术领域,具体是一种多角度低反射红外截止滤光膜的设计方法。
背景技术
红外截止滤光膜(IR-CUT)是蒸镀在玻璃或树脂等基板上,使其在可见光波段透过增加,而近红外光波段(700-1200nm)透过减少的光学薄膜。主要作用是消除红外光线对成像的影响,应用于多种成像领域。通过在成像系统中加入红外截止滤光片,阻挡该部分干扰成像质量的红外光,可以使所成影像更加符合人眼的最佳感觉,是数码相机、智能手机摄像头及其它数字摄像镜头系统的核心部件。
现有红外截止滤光膜(IR-CUT)已经大量应用于摄像模组中,随着成像要求越来越高,对红外截止膜的要求也越来越高:近红外截止波段要继续保持高截止,同时可见光波段透过要求也越来越高。对应红外截止滤光膜在可见光波段的反射要尽可能压低。常用膜层材料高折射率(Ti3O5/Ta2O5等),低折射率材料(SiO2/Mgf2等),光学薄膜设计是由高低折射率材料进行交替蒸镀在玻璃或树脂等基板上,设计时采用2个标准膜堆进行堆叠设计,膜层厚度较薄的膜堆在前,较厚的在后,设计曲线在可见光波段0度的反射和30度的反射很难同时保持在较低的反射要求。
发明内容
本发明的目的在于提供一种多角度低反射红外截止滤光膜的设计方法,以解决现有技术中的问题。
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种多角度低反射红外截止滤光膜的设计方法,包括以下步骤:
S1:基底材料的选择;
S2:制备高低折射率材料的单层膜;
S3:将倒置的膜堆参数导入光学设计软件,调节关键膜层厚度,输入优化条件后,进行多角度低反射红外截止滤光膜优化设计;采用倒置“厚堆(1.35H1.35L)^10,薄堆(HL)^10”作为基础膜堆进行优化,将较厚的膜层放置在前,H代表高折射率材料;L代表低折射率材料;1.35是系数;薄厚堆系数比1:1.3和1:1.5之间;
S4:基底材料的一面先蒸镀粘结层,然后以不同条件交替蒸镀氧化硅层和氧化钛层。
优选的,所述步骤S1中基底材料选择白玻璃、蓝玻璃、树脂材料中的一种或多种。
优选的,所述步骤S2中单层膜的制备是通过镀膜机制备,步骤S2中还包括确定镀膜材料的基本光学参数。
优选的,所述镀膜材料的基本光学参数包括折射率和吸收系数。
优选的,所述步骤S4中交替蒸镀氧化硅层和氧化钛层的膜层在30-45层之间。
优选的,所述氧化硅层的总厚度设置为2500-3500nm,氧化钛层的总厚度设置为1500-2500nm;得到0度和30度可见光波段双低反射红外截止滤光膜。
与现有技术相比,本发明的有益效果是:基底一面交替蒸镀粘结层(mgf2/AL2O3/钛酸镧等),然后交替蒸镀高/低折射率材料(使用高纯度的石英硅环作为低折射率蒸镀物质,使用结晶态高纯度的氧化钛作为高折射率蒸镀物质),总层数设置为30-45层,通过2个标准膜堆进行堆叠设计,采用厚膜堆在前,薄膜堆在后,并将靠近基底的前两层高低折射率材料的膜层厚度设置为约1/4光学厚度的薄层,同时在最后添加4层薄层作为干涉层,然后通过软件进一步优化,最终设计0度和30度可见光波段反射显著降低,反射设计余量充足,生产良率高。
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