[发明专利]一种激光芯片的多功能测试装置在审
| 申请号： | 202110075655.5 | 申请日： | 2021-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN112909726A | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 潘华东;李青龙;王俊;赵长福 | 申请（专利权）人： | 苏州长光华芯光电技术股份有限公司;苏州长光华芯半导体激光创新研究院有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/00 | 分类号： | H01S5/00 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 薛异荣 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市高新区昆仑山路189号*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 激光 芯片 多功能 测试 装置 | ||
1.一种激光芯片的多功能测试装置，用于对激光芯片进行测试，包括桌面板，其特征在于，在所述桌面板上，设有：
水平行走机构，用于控制激光芯片在水平方向上移动；
透镜行走机构，用于固定透镜，并控制透镜的位置；
偏振上下行走气缸，用于控制偏振的高度；
校准热堆左右行走气缸，带动安装于其上的校准热堆左右移动，以测试激光芯片的校准热堆；
远场水平行走机构，用于测试激光芯片在水平方向上的远场；
远场垂直行走机构，用于测试激光芯片在垂直方向上的远场。
2.根据权利要求1所述的多功能测试装置，其特征在于，所述水平行走机构，包括：
连接板，可沿所述桌面板水平滑动；
芯片夹具固定结构，固定在所述连接板之上，用于固定激光芯片；
探针上下行走气缸，固定在所述连接板之上，设置有固定针，用于对芯片夹具固定结构自动加电。
3.根据权利要求2所述的多功能测试装置，其特征在于，所述芯片夹具固定结构包括第一伸缩固定装置和第二伸缩固定装置。
4.根据权利要求1所述的多功能测试装置，其特征在于，所述透镜行走结构上设有透镜连接装置，用于连接透镜；还设有：
上下行走旋转开关，用于控制透镜连接装置的上下位置；
左右行走旋转开关，用于控制透镜连接装置的左右位置；
前后行走旋转开关，用于控制透镜连接装置的前后位置。
5.根据权利要求1所述的多功能测试装置，其特征在于，所述偏振上下行走气缸上安装有用来测试激光芯片的偏振。
6.根据权利要求1所述的多功能测试装置，其特征在于，所述校准热堆左右行走气缸上安装有测试激光芯片热堆的校准热堆。
7.根据权利要求1所述的多功能测试装置，其特征在于，所述远场水平行走机构上设置有远场水平行走装置，用于测试激光芯片水平方向上的远场。
8.根据权利要求1所述的多功能测试装置，其特征在于，所述远场垂直行走机构上设置有远场垂直行走装置，用于测试激光芯片垂直方向上的远场。
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